판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9396622

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 반도체 및 비반도체 기판의 결함을 감지하고 측정하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. KLA Surfscan SP3는 정교한 이미지 획득 및 분석 기능을 통해 모든 유형의 샘플을 최대 4개 (단일 작업) 까지 검사할 수 있으며, 이를 통해 고객은 빠르고 정확한 결함 데이터를 얻을 수 있습니다. 이 장치의 핵심은 광학 하위 시스템입니다. 여기에는 정교한 카메라 2 개 (정밀한 평면 이미징을위한 초고해상도 컬러 CCD, 보다 선택적인 스캔을위한 5 배 고해상도 회색 음영 CCD) 가 포함됩니다. 일체형 조명 (Integrated Lighting) 은 일관된 결과를 위한 자연스러운 조명을 제공하며, 다양한 자동/수동 이미지 조작 옵션을 통해 필요에 따라 이미지 설정을 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 TENCOR Surfscan SP3에는 현미경 표본과 같은 빛에 민감한 샘플을위한 낮은 배경 시스템 (예: 현미경 표본) 과 자동 이미지 캡처 및 시야 내 샘플 위치 (field-of-view finder) 가 장착되어 있습니다. 자동화된 샘플 형태 조작 (Automated sample morphology manipulation) 은 이미징 및 검사를위한 포괄적 인 도구로서의 장치의 기능을 요약합니다. 데이터 측면에서 Surfscan SP3는 강력한 소프트웨어 엔진을 사용하여 복잡한 이미지 분석 옵션을 제공합니다. 측정 데이터를 여러 프레임워크로 집계, 정렬하거나, 특정 입자 피쳐를 검색하거나, 나노미터 (nanometer) 수준에서 개별 결함을 식별하기 위해 알고리즘을 사용할 수 있습니다. 또한, 추가 검토/분석을 위해 이미지를 로컬 또는 원격으로 아카이빙하는 데 소프트웨어를 사용할 수 있습니다. KLA/TENCOR Surfscan SP3의 다양성은 가장 신뢰할 수있는 도구 중 하나입니다. 광범위한 마스크 및 웨이퍼 기판의 결함을 감지, 측정 및 분석하는 데 이상적입니다. 정밀도, 정확성, 사용성을 제공하여 반도체 업계의 결함 탐지를 위한 선도적인 선택입니다.