판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #9364671

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 반도체 회로의 자동 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 도량형 (Optical Metrology), 결함 인식 및 결함 분류 기능을 자동화된 마스크 및 웨이퍼 검사 워크플로에 통합합니다. 광학 결함 검토 프로세스는 레이저 현미경, 레이저 산란법 (laser scatterometry), 화학 에치 (etch) 를 포함한 여러 이미징 기술을 고급 자동 알고리즘 기술과 결합하여 결함을 정확하게 식별하고 올바르게 분류합니다. 이 장치는 용량이 높아 시간당 최대 40,000 개의 웨이퍼 다이 (wafer die) 를 검사 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 광범위한 이미지 검토 및 분류 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 결함의 고해상도 이미지를 검토하고 크기, 모양, 위치, 기타 특성에 따라 분류할 수 있으며, 따라서 운영자가 신속하게 결함을 파악하고 이를 해결하는 방법을 결정할 수 있습니다. 연산자가 자동으로 결함 클래스를 지정할 수 있도록 통합 결함 분류 엔진 (Integrated Defect Classification Engine) 도 포함됩니다. 이 도구는 고성능 FPGA 플랫폼을 기반으로 하며 여러 가지 업계 표준 결함 데이터베이스와 호환됩니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 을 통해 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산은 잘못된 경보를 줄이고, 적절한 방법으로 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 안전 측면에서 KLA Surfscan SP3 모델은 유럽 연합의 RoHS 및 WEEE 지침을 포함한 최신 안전 규정을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 적용 가능한 안전 규정을 준수하도록 인증되었으며, 전체 7 년 (7 년) 제품 보증이 지원됩니다. 전반적으로 TENCOR Surfscan SP3는 자동화된 고성능 플랫폼에서 광학 도량형, 결함 인식, 결함 분류 기능을 결합한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 포괄적인 기능을 통해 결함을 빠르고 정확하게 파악하고, 가장 효율적인 수리/회피 (Repair and Avoidance) 프로세스에 대해 분류할 수 있습니다.