판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293806349

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 도구는 픽셀 레벨에서 패턴 결함 (pattern defect) 을 감지할 수 있는 고급 도구이며, 기존의 검사 기술을 능가하는 정확도 (accuracy rate) 입니다. KLA Surfscan SP3의 주요 기술은 접촉 및 근접 이미징입니다. 접촉 이미징 (Contact Imaging) 에는 시스템 벽에 장착 된 촉수 같은 광학 암 형태로 기계적으로 스캔 된 스캐너를 사용하는 것이 포함됩니다. 이 팔 은 물리적 으로 "웨이퍼 '를 가로질러 움직 일 수 있으며 상상 을 상세 히 볼 수 있다. 반면에, 근접 영상은 웨이퍼 (wafer) 의 회로 패턴에 의해 방출되는 전기장을 측정함으로써 작용한다. 이 방법은 패턴 밀도가 높은 대형 웨이퍼를 검사 할 때 특히 유용합니다. 이 장치의 내장 알고리즘을 사용하면 웨이퍼와 마스크를 빠른 속도로 검사 할 수 있습니다. 캡처하는 이미지는 TENCOR Surfscan SP3의 내장 결함 감지 소프트웨어 (내장 결함 감지 소프트웨어) 에 공급되며, 이 소프트웨어는 고급 알고리즘을 사용하여 기존 검사 기술보다 더 정확하고 빠르게 결함을 식별합니다. 또한 Surfscan SP3에는 향상된 사용을 위해 설계된 광범위한 기능이 있습니다. 즉, 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 다양한 검사 옵션과 Wafer 데이터를 손쉽게 탐색하고 액세스할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자주 검사되는 웨이퍼 유형에 대해 미리 정의된 레시피의 큰 라이브러리를 특징으로하며, 이를 몇 초 안에 로드하고 조정할 수 있으며, 효율성을 높이고 연산자 피로를 줄일 수 있습니다. KLA/TENCOR Surfscan SP3는 매우 강력하고 안정적이며 사용하기 쉬운 검사 도구입니다. 사용자에게 친숙한 경험을 제공하면서 놀라운 속도와 정확성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제작 전문가는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 빠르고 안정적으로 검사할 수 있으며, 제조 프로세스 효율성을 크게 향상시키는 한편, 눈에 띄지 않는 결함을 감지할 수 있습니다.