판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3+ #293776121
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ID: 293776121
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Inspection system, 12"
PHOENIX 2.0 TFIMS Handler
(3) SHINKO Load ports
KAWASAKI NX500 Robot controller
Illumination: Oblique, Normal
Purge module
Interlock board
LON Node
Galil controller
(2) BSS Module
IMC Server rack
IMC Computer
IMC Monitor
IMC Data cable
Stage
Image computer
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2014 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3는 반도체 회로의 자동 검사를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 도량형 (Optical Metrology), 결함 인식 및 결함 분류 기능을 자동화된 마스크 및 웨이퍼 검사 워크플로에 통합합니다. 광학 결함 검토 프로세스는 레이저 현미경, 레이저 산란법 (laser scatterometry), 화학 에치 (etch) 를 포함한 여러 이미징 기술을 고급 자동 알고리즘 기술과 결합하여 결함을 정확하게 식별하고 올바르게 분류합니다. 이 장치는 용량이 높아 시간당 최대 40,000 개의 웨이퍼 다이 (wafer die) 를 검사 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 광범위한 이미지 검토 및 분류 기능을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 결함의 고해상도 이미지를 검토하고 크기, 모양, 위치, 기타 특성에 따라 분류할 수 있으며, 따라서 운영자가 신속하게 결함을 파악하고 이를 해결하는 방법을 결정할 수 있습니다. 연산자가 자동으로 결함 클래스를 지정할 수 있도록 통합 결함 분류 엔진 (Integrated Defect Classification Engine) 도 포함됩니다. 이 도구는 고성능 FPGA 플랫폼을 기반으로 하며 여러 가지 업계 표준 결함 데이터베이스와 호환됩니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 을 통해 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 자산은 잘못된 경보를 줄이고, 적절한 방법으로 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 안전 측면에서 KLA Surfscan SP3 모델은 유럽 연합의 RoHS 및 WEEE 지침을 포함한 최신 안전 규정을 충족하도록 설계되었습니다. 이 장비는 적용 가능한 안전 규정을 준수하도록 인증되었으며, 전체 7 년 (7 년) 제품 보증이 지원됩니다. 전반적으로 TENCOR Surfscan SP3는 자동화된 고성능 플랫폼에서 광학 도량형, 결함 인식, 결함 분류 기능을 결합한 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 포괄적인 기능을 통해 결함을 빠르고 정확하게 파악하고, 가장 효율적인 수리/회피 (Repair and Avoidance) 프로세스에 대해 분류할 수 있습니다.
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