판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293650551

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 저렴한 가격과 고성능 옵션으로 빠르게 확장 가능한 운영 기능을 제공합니다. KLA Surfscan SP3는 고급 결함 검토에서 포괄적인 데이터 관리에 이르기까지 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사의 모든 측면을 효율적으로 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 기능을 자랑하며, 반도체 제작 설비에서 안정적이고 일관성 있게 검사할 수 있습니다. TENCOR Surfscan SP3 (Surfscan SP3) 는 다양한 옵틱을 통해 고급 이미징 기술을 제공하여 다양한 입자, 결함 및 기타 세부 사항을 매우 작은 크기로 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 반복 가능하고 사용자 정의 가능한 광학 모듈 (Optical Module) 의 배열을 포함하며, 이를 통해 사용자는 이 툴을 특정 애플리케이션의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 에셋은 자동 이미지 분석 알고리즘을 사용하여 정확도를 극대화하고 검사 프로세스에서 인간 편향 또는 오류를 제거합니다 (automated image analysis algorithm). 따라서 일관되고 편향되지 않은 결과가 보장되며 수동 검토가 필요없습니다. Surfscan SP3는 고급 optics 외에도 데이터 관리, 프로세스 제어 및 샘플 관리를 위한 여러 모듈을 갖추고 있습니다. 모델의 데이터 수집 (Data Acquisition) 모듈을 사용하면 자동화된 검토 및 분석을 위한 라이브러리 데이터의 조직 및 읽어들이기, 자세한 카메라 보정 및 검토 작업을 수행할 수 있습니다. [데이터베이스 좌표] 모듈은 레이아웃 및 작업 사이트 정보를 추적하여 전체 웨이퍼를 정확하게 측정합니다. 마지막으로, KLA/TENCOR Surfscan SP3의 Sample Management 모듈을 사용하면 여러 사용자 및 여러 장치에 걸쳐 데이터를 쉽게 추적하고 관리할 수 있습니다. 이 장비는 또한 검사 결과에서 가장 높은 정확도와 신뢰성을 보장하기 위해 몇 가지 고급 (advanced) 알고리즘을 자랑합니다. 예를 들어, [마스크 형상] 및 [가장자리 감지] 알고리즘을 사용하면 여러 이미지 간의 변화를 감지할 수 있습니다. 서브레이아웃 검증 (Sub Layout verification) 알고리즘은 칩의 정렬 및 위치 지정과 관련된 잠재적 문제를 감지하는 고유한 기능입니다. LED 피쳐 감지 (LED Feature detection) 알고리즘은 일반적인 검사 방법을 통해 감지하기 어려운 심각한 결함을 찾는 데 도움이 될 수 있습니다. KLA Surfscan SP3는 반도체 제작 설정에서 품질 제어를 위해 필수적인 도구입니다. 이 시스템은 매우 정확한 이미징, 자동화된 데이터 관리, 강력한 알고리즘을 통해 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 환경을 위해 설계되었습니다. 모든 반도체 생산 설비에는 품질 관리 (Quality Control) 및 검사 (Inspection) 기능을 향상시키려는 최적의 선택입니다.