판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293645338

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ID: 293645338
빈티지: 2012
Inspection system 2012 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP3는 광범위한 산업에서 마스크와 웨이퍼를 매우 정확하고 빠르게 검사할 수 있도록 설계된 강력한 마스크/웨이퍼 검사 장비입니다. 이 도구는 렌즈 및 고급 제조 공정의 다른 컴포넌트에서 나노 미터 (nanometer) 스케일 결함을 식별하기위한 효과적인 도구입니다. 반도체 산업에서도 사용됩니다. KLA Surfscan SP3는 60cm 스캔 필드를 사용하여 반도체를 이미징 할 수 있으며 최대 300mm입니다. 이 시스템은 업계 최고 표준을 능가하는 1 미크론 픽셀 해상도와 1 ~ 120dB의 동적 범위를 갖추고 있습니다. 고급 알고리즘을 사용하여 TENCOR Surfscan SP3는 1 초 안에 밝고 어두운 결함을 모두 감지 할 수 있습니다. 또한, 견고한 광 장치 (optical unit) 에는 여러 개의 탐지기 및 광원이 장착되어 있어 최대 성능, 수심, 필드 균일성을 보장합니다. 소프트웨어와 관련하여 Surfscan SP3에는 고급 운영 체제 (Operating Machine) 와 강력하고 경제적인 프로세스 자동화 툴이 있습니다. TSDA (True Scan Disparity Analysis) 도구를 사용하여 결함을 자동으로 검색, 측정 및 분류합니다. 또한, KLA/TENCOR Surfscan SP3에는 고객의 특정 요구에 쉽게 적응할 수 있는, 사전 정의된 검사 매개변수 및 보고 기능의 포괄적인 라이브러리가 포함되어 있습니다. KLA Surfscan SP3 의 혁신적인 하드웨어/소프트웨어 기능을 통해 고객은 비용이 많이 드는 지연을 방지하여 실시간으로 프로세스 추세를 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 직관적이고 쉽게 구성할 수 있는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 운영 실행을 간편하게 제어하고 관리할 수 있습니다. TENCOR Surfscan SP3 (TENCOR Surfscan SP3) 는 마스크 및 웨이퍼 검사 분야의 최신 기술로, 경쟁 가격에 안정적이고 정확한 성능을 제공합니다. 특유의 광학과 첨단 (최첨단) 알고리즘으로, 고급 반도체· 마이크로일렉트로닉스 산업에 귀중한 도구다. 이 다용도 및 비용 효율적인 검사 자산은 모든 청소실 (cleanroom) 설정에 이상적이며 집적회로 (integrated circuit) 의 생산에서 프로세스 결함을 감지하고 분류하는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다.
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