판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293619782

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 최고 수준의 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 결함이 생산 (production) 으로 전송되는 것을 막기 위해 결함 감지 시간을 줄이고 제조 공정에 통합되도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 마스크 또는 웨이퍼의 전체 필드 뷰를 제공하는 광각 고해상도 (Wide-Angle High-Resolution) 카메라가 장착되어 있습니다. 자동화된 고속 스테퍼와 결합하여 가공소재의 각 영역을 정확하게 스캔합니다. 카메라는 각 영역의 이미지를 여러 개 찍어 결함을 분석하고 장치 (unit) 데이터베이스의 결과를 추적합니다. 소프트웨어 알고리즘은 알려진 결함과 비교되며 실시간 검사 보고서를 제공합니다. SP3 기계에는 15 나노미터 미만의 나노 스케일 결함을 감지 할 수있는 특허 빔 검사 기술이 포함되어 있습니다. 이 기술은 마스크 (Mask) 또는 웨이퍼 (Wafer) 이미지를 확대하여 보다 세부적인 검사를 허용하고 결과의 정확도를 높입니다. 이 도구는 또한 유연한 결함 분류 설정 (Flexible Defect Classification Settings) 을 제공하여 결함 크기 (Defect size), 방향 (Orientation), 각기 다른 유형의 결함 조합 (Combination) 과 같은 고유한 결함 분류 기준을 설정할 수 있습니다. 에셋에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 소프트웨어 설정에 대한 빠른 액세스를 제공하므로 필요에 따라 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 자동 교정 및 교정 검증을 통해 검사 시간을 줄이고 정확성을 보장합니다. 이 모델은 EUV, OPC, IR/NIR 및 SARBD와 같은 다양한 프로토콜을 준수합니다. KLA Surfscan SP3 장비는 SEMI, ITRS 및 EUV와 같은 다양한 산업 표준을 충족하도록 설계되어 반도체 장치 및 옵토 전자 부품 생산에 적합합니다. 이 시스템은 유지 보수가 쉽고, 신속한 유지 관리 및 수리를 통해 생산이 원활하게 실행되도록 합니다. 이 장치는 숙련도가 높은 기술 지원 담당자가 지원하며, 필요에 따라 실시간 지원을 제공할 수 있습니다.