판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP3 #293594322

KLA/TENCOR Surfscan SP3는 고해상도, 고속 반도체 결함 감지 및 분류를 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 KLA 특허 반사 이미징 기술을 기반으로하며, 반도체 생산의 정확한 요구에 맞춰져 있습니다. SP3의 강력한 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 및 평면 패널 마스크 검사 기능을 통해 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 와 패턴 생성기를 통해 최고의 품질과 안정성을 제공합니다. 이 장치는 탁월한 감도, 정확성, 유연성으로 마스크와 웨이퍼에 대한 고급 검사를 제공합니다. KLA Surfscan SP3에는 강력한 이미지 획득, 이미지 처리 및 결함 분류 기능이 결합되어 있습니다. 이 기계에는 고해상도 해상도와 고급 표면 이미징을 활성화하는 고급 이미지 획득 기술 (예: 쿼드 (Quad) 및 감소 변형 (Reduction Variations)) 이 포함되어 있습니다. TENCOR Surfscan SP3에는 균일 한 픽셀 위치 덕분에 고해상도 광학, 고화소 밀도 및 고사양 영역이 없습니다. Surfscan SP3에는 다양한 강력한 감지 알고리즘 및 대화식 분석 도구가 있습니다. 고급 알고리즘을 사용하면 정확한 분석을 수행할 수 있고, 대화형 도구 집합을 사용하면 검사 결과를 빠르게 수정, 사용자 정의, 검증할 수 있습니다. KLA/TENCOR Surfscan SP3는 단일 사용자 설정 및 대규모 다중 사용자 네트워크를 포함한 여러 사용자 구성을 지원하도록 설계되었습니다. 또한 이 툴을 다른 시스템과 통합하여 효율성과 생산성을 높일 수 있습니다. KLA Surfscan SP3에는 고급 성능을 더욱 향상시키는 다양한 고급 웨이퍼 제어 (wafer control) 기능이 장착되어 있습니다. 이 자산에는 정확한 단계와 정확한 측정 및 정렬을 위한 반 레티클 조정 (half-reticle adjustment) 번역, 품질 보장에 대한 고급 배치 진행 보고서 (Advanced Batch Progress Report) 가 포함됩니다. 이 모델에는 고속 반복성을 위한 자동 패턴 매칭 (automated pattern matching), 향상된 웨이퍼 평탄성을 위한 자동 변형 수정 (automatic deformation correction) 및 뛰어난 반복성 및 비용 효율성을 위한 전용 레이저 소스가 포함되어 있습니다. 마지막으로, TENCOR Surfscan SP3은 웹 기반 GUI를 제공하여 사용자가 검사 순서를 쉽게 제어하고 결과를 볼 수 있습니다. 또한 GUI는 사용자에게 장비 기능, 설정, 보고서에 대한 전례없는 액세스를 제공합니다. 견고한 보고 기능을 통해 사용자는 시스템 성능에 대한 정보와 통찰력을 신속하게 액세스할 수 있으므로 Surfscan SP3 (Surfscan SP3) 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 강력하고 효율적인 도구입니다.