판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9314791
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판매
ID: 9314791
웨이퍼 크기: 12"
Inspection system, 12"
Scan module
Blower
Processor: 2.2 GHz
Operating system: Windows XP
Oblique incident
Edge cut: 2 mm
STD Throughput
Enhanced XY Co-ordinate
Defect classification: Slipline, Scratch and LPD-N
Haze normalization
Haze analysis
Optical filter
Space filter: 20°
Space filter: 40°
Space filter rough film
Options:
Part number / Description
0088725-000 / Normal incident
0088727-000 / High sensitivity mode
0088727800 / High throughput mode
0088732-000 / GEM/SECS
0088733-000 / HSMS
0088731-000 / NFS Client
0088737-000 / E84 Automation support, 12"
0088738-000 / E87 Automation support, 12"
0088739-000 / E40/E94/E90 Automation support, 12"
0088748-000 / LPD-E/S Classification
0088749-000 / Grading / Sorting
0088740-000 / Printer
J00012 / Printer rack
- / BSIM
- / Pato-light
Wafer thickness:
0.725 mm, 8"
0.775 mm, 12"
Sensitivity:
High sensitivity:
Oblique:
Wide: 37 nm
Narrow: 60 nm
Normal:
Wide: 61 nm
Narrow: 78 nm
STD Sensitivity:
Oblique:
Wide: 42 nm
Narrow: 70 nm
Normal:
Wide: 68 nm
Narrow: 83 nm
High throughput:
Oblique:
Wide: 47 nm
Narrow: 80 nm
Normal:
Wide: 72 nm
Narrow: 93 nm
Throughput:
High sensitivity mode:
Edge handling dual FIMS: 15 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 24 WPH
Vacuum chuck 8": 40 WPH
Edge handling 4 x 8": 32 WPH
STD Mode:
Edge handling Dual FIMS: 30 WPH
Vacuum chuck Dual FIMS/Open: 49 WPH
Vacuum chuck, 8": 68 WPH
Edge handling 4 x 8": 55 WPH
High throughput mode:
Edge handling dual FIMS: 58 WPH
Vacuum chuck dual FIMS/Open: 75 WPH
Vacuum chuck, 8": 90 WPH
Edge handling 4 x 8": 80 WPH
Lighting smooth
DPSS Laser : 350 mW, 355 nm
Vacuum:
Scan module
Pressure: -24 ~ -30 Hg
Flow: 1 SCFM
FOUP Opener (Dual FIMS):
Pressure: -24 to -24 Hg
Flow: 1 SCFM
Compressed air:
Scan module
Pressure: 85-105 psi
Flow: 4 SCFM
Condensation: -29°
Edge end effecter:
Pressure: 90~120 psi
Wafer handling:
Edge handling
Vacuum chuck
Data output:
High resolution TFT color flat panel display
USB
Parallel port
Serial port
DVD+RW Drive
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Network connector: 10/100 Base-T
ISDN Connector
Voltage: AC 200 V±10%
Frequency: 50-60 Hz ± 5%
Power supply: 200 V, Single phase, 2.88 kVA.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 반도체 칩 생산의 품질과 일관성을 보장하기 위해 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미지 감지 장치 (image detection unit) 를 갖춘 밝은 레이저 조명 소스를 사용하여 이전 시스템에서 보이지 않는 해상도 수준에서 웨이퍼, 마스크, 레티클에 대한 기능 이미지를 캡처합니다. KLA Surfscan SP2 (CLA Surfscan SP2) 는 가장 복잡한 레티클에서 0.5 미크론의 공차를 측정하여 최고 정확도와 정밀도를 보장하며, 기존의 광학 검사 시스템 이상의 기능을 검사 할 수 있습니다. 이 기계는 특허를받은 "레이저 플러스 셔터 (laser-plus-shutter)" 기술을 사용하여 원하는 시야에서 마스크 또는 웨이퍼에서 가장 작은 기능의 명확한 이미지를 얻을 수 있으며, 동적 렌즈 도구를 사용하여 해상도를 최대 x128까지 확대할 수 있습니다. 또한, 자산의 고급 고감도 이미지 처리 기술은 모든 필드 크기 (최대 55 데시벨) 의 매우 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다. TENCOR SURFSCAN SP 2는 간편한 작동을 염두에 두고 설계되었으며, 사용자 친화적인 인터페이스와 간편한 설치/작동을 지원하는 직관적인 그래픽 컨트롤을 제공합니다. 빠르고 정확한 결함 격리를 위해 Feedback (FB) 알고리즘과 전통적인 '인쇄' 및 '스크래치' 와 같은 어려운 결함에 대한 특허 결함 격리 기술이 장착되어 있습니다. 이 모델은 사용자 편의를 위해 txt, csv, html 파일 등 다양한 파일 형식의 스캔 데이터 보고서를 생성하는 기능을 갖춘 소프트웨어 (소프트웨어) 툴과 함께 번들로 제공됩니다. KLA SURFSCAN SP 2는 현장 업그레이드가 가능한 소형 자동화된 장비로, 최소 수준의 서비스 지원이 필요하므로 중요한 마스킹 및 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 요구 사항에 적합한 검사 옵션입니다. 이 제품은 고품질 (Quality) 의 대용량 운영 환경을 위해 설계되었으며, 소프트웨어와 하드웨어의 효율적인 조합으로 최고 수준의 정확성, 안정성, 속도를 제공합니다.
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