판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9260809
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ID: 9260809
Inspection system, 12"
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(1) / 0235019-000 / Laser head, UV, 355 nm, 350 mW, T sesam mo
(1) / 0094103-001 / FRU, DC Module assembly, PDU, SP2
(1) / 0261763-000 / Module, data acquisition, USB, MINILAB Ribbon
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-ports
(1) / 0501328-000 / Front end controller kit
(1) / 0305125-000 / KIT, REV E Controller and cables, YASKAWA NXC100
(1) / 0259855-000 / FRU, L1A, L1B L1-L2 Assembly, EC, SP2
(1) / 0253452-002 / FRU, Attenuator assembly half-wave, EC, SP2
(1) / 0253457-000 / FRU, Fold mirror, 90°, incident, EC, SP2
(1) / 0333668-000 / PS With diode, UV Laser, J40 355 mW hybrid
(1) / 0253311-000 / Assembly, SERVO Mirror, SAPPHIRE, BSS, EC, SP2
(1) / 0216827-000 / PCB Assembly, GALIL M, configured, SP2
(2) / 0094104-000 / FRU, PCB Assembly, proc 3, INTRF 2, 8 x 512M, SP2
(2) / 0202919-002 / FRU, HD and Carrier, IDE 500GB configuration 1.0, SP
(2) / 0253456-000 / FRU, Mirror, Pick-Off, QC1, EC, SP2
(1) / 0023892-000 / Chuck, 8"/12", vacuum, SP1
(1) / 0123546-000 / Fan filter HI capacity, SP2
(1) / 0214551-001 / FRU, PMT Assembly, single, dark field, SP2
(1) / 0094100-000 / FRU, Assembly, fast laser shutter, SP2
(1) / 0214544-001 / FRU, Shutter assembly, laser, beam steering, SP2
(1) / 0253458-001 / FRU, Rotator assembly, half-wave, EC, SP2
(1) / 0253755-001 / FRU, BSC Assembly, NRML/OBL CHNL, EC, SP2
(1) / 0065575-000 / CBL, MTR DR Board to MSK CH Distribution board
(1) / 0128468-000 / Assembly, NODE, CPU, ISO port
(1) / 0354464-000 / PCB Assembly PHX E84 4-Ports
2004 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 완전히 기능된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 등 다양한 유형의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 를 수행할 수 있다. 이 시스템은 다이 (die) 에서 풀 웨이퍼 (full wafer) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 검사 할 수 있습니다. 유연성 (Flexible) 과 확장성 (Scalable) 을 모두 갖추도록 설계되었으며, 사용자가 정확한 요구에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. KLA Surfscan SP2는 KLA 독점 Brightfield, Darkfield 및 Contrast Inspection 기술을 사용하여 오늘날 사용 가능한 최고 수준의 결함 감지를 달성합니다. 이 고급 기술을 통해 기계는 0.1um의 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 대비 모드 (contrast mode) 를 선택하여 다양한 결함 유형을 구분할 수 있으며, 패턴이 약한 영역을 식별할 수 있습니다. 자산은 두 개의 CCD를 사용하여 작동합니다. 5.6 메가 픽셀 필드 카메라 및 1280x800 메가 픽셀 웨이퍼 카메라. "웨이퍼 '" 카메라' 가 "웨이퍼 '를 검사 하는 데 사용 되는 동안 필드 카메라 는" 마스크' 를 검사 하는 데 사용 된다. TENCOR 독점 검사 알고리즘과 함께 두 개의 CCD (Computed CCD) 를 조합하면 모델이 전체 웨이퍼 전체에서 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 TENCOR SURFSCAN SP 2에는 워퍼 블루 (wafer blue) 정렬 장비가 장착되어 있어 검사 과정에서 웨이퍼와 마스크를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한, 시스템은 조정 가능한 검사 매개변수를 갖추고 있으며, 사용자가 특정 요구에 맞게 검사를 조정할 수 있습니다. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2는 온보드 데이터 캡처 기능도 제공합니다. 이를 통해 사용자는 검사 데이터를 캡처하고 검토하여 분석할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 고속 처리 장치 (High Speed Processing Machine) 가 있어 경쟁 시스템보다 최대 5 배 빠른 속도로 데이터를 처리 할 수 있습니다. Surfscan SP2는 고급, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 마스크 및 웨이퍼 결함 감지 및 검증을 위한 강력한 기능을 제공합니다. 5.6 메가 픽셀 필드 카메라, 1280x800 메가 픽셀 웨이퍼 카메라, 조정 가능한 검사 매개변수, 온보드 데이터 캡처 기능을 통해 탁월한 유연성과 성능을 제공합니다. TENCOR Surfscan SP2는 대용량 고수율 결함 검사에 이상적인 모델입니다.
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