판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #9240763
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판매
ID: 9240763
웨이퍼 크기: 12"
Particle measurement system, 12"
Operating system: Windows XP SP3
Carrier:
Phx, SHINKO (Load port)
(8) User-configurable LEDs to display load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping
Chamber:
Powder coat panels kit
Vacuum option: 200/300mm
Load port vacuum: 12" Dual FIMS
Hardware:
5-Color light tower (RBYGW)
Ethernet
E84 Enabled for OHT and AGV/RGV
GEM/SECS and HSMS
Handler secondary UI, Phoenix, SP2
Main computer:
Intel®Xeon™ CPU 3.20 GHz
Memory: 3.5 GB RAM
DVD- ROM
Mouse
Keyboard
Floppy, 3.5"
FEC Computer:
Intel®Pentium®4 CPU
512 MB RAM Memory
Applications:
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incidence illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY coordinates
Standard classification package
LPD-N Classification
LPD-ES Classification
High sensitivity inspect mode
High throughput inspect mode
Options:
Haze
IC / OEM Mfg surf quality recipe
Facilities:
Power: 208 VAC, 3 W-N
CDA: >28.3 Nl/min, >6.6791 kg/cm²
Vac: >28.317 l/min, >-700 mm Hg.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 마스크와 웨이퍼 모두에서 원치 않는 결함을 감지하고 수정하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA Surfscan SP2는 광학, 전기 및 기계 부품을 사용하여 다양한 웨이퍼 유형의 결함을 감지하고 수정합니다. 광학 검사에는 모든 결함을 정확하게 감지하는 밝은 필드와 어두운 필드 이미징 (dark field imaging) 이 모두 포함됩니다. 전기 기능은 접촉 및 비 접촉 (non-contact) 방법을 사용하여 저항, 커패시턴스 및 전류와 같은 전기 특성을 측정합니다. 기계적 기능을 통해 TENCOR SURFSCAN SP 2는 웨이퍼를 검사하는 동안 정확한 이동 및 조정에 대한 방향을 변경할 수 있습니다. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2에는 포커스 변형, 이미지 처리 등의 통합 기술이 포함되어 있어 웨이퍼를 검사하고 잠재적 결함을 확인하고 찾을 수 있습니다. 초점 변화 (Focus variation) 는 웨이퍼의 3 차원 뷰를 제공하여 시스템이 서브 미크론 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이미징 서브시스템은 정확하고 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 추가 분석을 위해 웨이퍼 이미지를 캡처합니다. 또한 KLA SURFSCAN SP 2 (KLA SURFSCAN SP 2) 에는 각 검사의 데이터를 분석하고 쉽게 읽을 수 있는 형식으로 결과를 표시하는 데 사용되는 고급 소프트웨어가 있습니다. 소프트웨어에는 일련의 도구 (tools) 가 있는데, 사용자는 wafer 에 있는 특정 결함을 필터링하고 식별할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 웨이퍼 유형 (Wafer Type) 및 실행에 대한 정기 검사를 설정하는 데 사용할 수있는 자동 스케줄링 기능이 내장되어 있습니다. 또한 Surfscan SP2는 편의성과 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 설치와 사용이 간편한 자동 머신 (Automated Machine) 이 장착되어 있습니다. 이 도구는 사용자 정의가 용이하므로, 사용자가 특정 요구 사항에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 자산에는 안전 작동 환경을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능 (예: 키 잠금 (Key Lock) 및 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치) 이 장착되어 있습니다. 전반적으로 TENCOR Surfscan SP2는 웨퍼를 검사하고 원치 않는 결함을 감지하고 수정하도록 설계된 다재다능한 모델입니다. 광학, 전기 및 기계 부품이 장착 된이 장비는 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형의 서브 미크론 (sub-micron) 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 고급 (Advanced) 소프트웨어를 사용하면 데이터를 필터링하고 분석하여 신속하게 결함을 파악할 수 있습니다. 자동 기능 및 안전 기능을 갖춘 SURFSCAN SP 2는 효율적이고 안전한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템을 제공합니다.
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