판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293807608

ID: 293807608
Inspection system Throughput: <37 nm UV Laser Modes: Standard throughput High sensitivity Oblique illumination Equipped with powder coat painted panel PHOENIX Dual FIMS Vacuum wafer handler, 12" Power inlet Optical filter XY Coordinates Edge exclusion, 2 mm IDM 4-Color light tower (Red, Yellow, Green, Blue) XY Calibration wafer, 12" Dryer Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 웨이퍼 제조 및 반도체 장치 제조 공정을 위해 특별히 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 을 통해 제조업체는 마스크 및 웨이퍼를 높은 처리율로 중요하게 검사하고 웨이퍼 제조 (Wafer Fabrication) 또는 장치 제조 중 미세한 결함을 감지할 수 있습니다. KLA Surfscan SP2에는 밝은 필드 (field-field) 및 어두운 필드 (dark-field) 이미징 기술이 포함되어 있어 웨이퍼에 존재하는 가장 작은 결함까지도 감지 할 수 있습니다. 이러한 결함은 핀홀, 긁힘 및 입자에서 돌출, 표시 및 왜곡에 이르기까지 다양합니다. 또한, 이 장치는 이물질 축적, 얼룩 및 사전 에치 손상 지역과 같은 웨이퍼에서 다른 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 제조업체가 검출된 결함을 식별하고 분류할 수 있는 특수 이미지 분석 기능 (specialized image analysis feature) 을 포함합니다 (높은 수준의 정확도). TENCOR SURFSCAN SP 2에는 직관적인 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 작업을 쉽게 관리할 수 있습니다. 이 장치에는 대형 21형 HD 터치스크린 패널이 있으며, 이 패널은 사용자가 검사 매개변수를 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 공구의 접촉 위치 정확도 (Contact Position Accuracy) 는 매우 우수하며, 해상도 0.5 m로, 가장 작은 다이 크기조차도 검사하기에 적합합니다. TENCOR Surfscan SP2는 최신 절전 기술이 적용되어 매우 안정적입니다. 에셋은 사용 후 대기 (standby) 상태로 자동 전원을 공급한 다음 필요할 때만 재시작하여 이를 달성합니다. 이를 통해 제조업체는 에너지 비용을 절감하고 모델의 수명을 연장할 수 있습니다 (영문). 이 장비는 또한 광범위한 어플리케이션을 위해 설계되었으며, SEMI 품질 시스템 표준을 준수합니다. 서프스캔 SP2 (Surfscan SP2) 는 웨이퍼와 마스크를 검사하려는 제조업체에게 이상적인 선택으로, 높은 수준의 정확도로, 또한 에너지 소비를 줄이는 동시에 에너지 소비를 줄입니다. 이 장치의 고성능은 제조업체가 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 검사하기 위해 안정적이고 효율적인 머신을 찾는 데 이상적인 선택입니다.
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