판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293806298

KLA / TENCOR Surfscan SP2
ID: 293806298
Inspection system.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 마스크 및 웨이퍼의 결함을 감지하고 분류하기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 광학 (optical) 과 마이크로메카니컬 (micromechanical) 스캐닝 기술을 모두 활용하여 결함을 파악하고 식별하는 고정밀 기계입니다. 이 시스템은 완전하게 자동화된 독립형 워크스테이션으로서, 강력하고 안정적인 결함 검사를 제공합니다. 디지털 이미징 (Digital Imaging) 기술을 사용하여 다른 각도로 이미지를 캡처하고, 레이저 기반의 미세 결함 감지 기술을 통해 마스크와 웨이퍼의 결함을 감지합니다. 이 장치의 고급 프로세서 (advanced processor) 는 균일 한 구조와 결함을 구별할 수 있으며, 정밀도가 높은 매우 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA Surfscan SP2는 패턴 기능을 포함하는 웨이퍼의 결함을 감지 할 수도 있습니다. 이 기계에는 고해상도 이미지를 캡처하기 위해 특수 카메라, 현미경 렌즈, 광원이 제공됩니다. 특허를 받은 광학 어셈블리는 여러 각도에서 빛을 모아 웨이퍼 서피스의 세부 3D 맵을 생성합니다. 그런 다음 이 정보를 사용하여 결함을 검색, 분류 및 측정합니다. 이 툴에는 다양한 분석, 보고, 접속 옵션을 제공하는 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 데이터 전송이 가능하며 스캐너 (scanner), 엑스레이 (X-ray) 머신, 웨이퍼 매핑 시스템 등 여러 장치에 연결할 수 있습니다. 정교한 분석/보고 기능을 통해 사용자는 결과 데이터를 보고 보고서를 생성할 수 있습니다. TENCOR SURFSCAN SP 2는 결함 감지 및 분류에서 최고의 효율성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 사용하기 쉽고, 운영 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 이 자산은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하며, 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제품이 최고의 표준을 충족하도록 보장합니다.
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