판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293769272

KLA / TENCOR Surfscan SP2
ID: 293769272
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2006
Unpatterned surface inspection system, 8"-12" FOUP/FIMS Handler 2006 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 집적 회로의 전기 성능을 저하시킬 수있는 미세한 결함을 감지하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 시스템은 정교한 광학 장치 (optics) 를 사용하여 마스크 (mask) 나 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면을 시각적으로 검사하여 해상도가 가장 높은 결함을 검색합니다. KLA Surfscan SP2에는 포괄적 인 검사 기술이 장착되어 있습니다. 여기에는 광 결함 감지, 임계 치수 검사, 레티클 잔류 탐지, 연결 탐지가 포함됩니다. 시간당 최대 15 개의 웨이퍼 (wafer) 의 검사 속도를 제공하며 최대 0.0014 미크론 해상도에서 정확한 데이터를 제공합니다. SP2 장치는 이미지 왜곡을 방지하는 혁신적인 5 위치 메커니즘으로 정교한 오브젝티브 렌즈를 사용합니다. 또한 오염 또는 긁힌 웨이퍼를 빠르고 정확하게 식별하고 거부 할 수있는 다차원 선택 가능한 알파 숫자 (alpha numeric) 기능이 장착되어 있습니다. TENCOR SURFSCAN SP 2에는 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함되어 있어 운영자가 신속하게 매개 변수를 선택하고 각 작업의 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 자동화 (Automation) 기능으로 운영 단순화, 설치 시간 단축, 인적 오류 발생 가능성 감소 이 도구에서 생성한 상세 데이터를 선택적 SurfStat 데이터 분석 패키지 (옵션) 로 가져올 수 있으며, 이를 통해 미시적 결함을 빠르고 정확하게 파악하고 문제를 해결할 수 있습니다. 이 자산은 매우 정확하고 유연하며, 품질 관리 (Quality Control) 및 기타 프로세스 관리 어플리케이션에 적합합니다. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 첨단 기술로, 가장 까다로운 어플리케이션을 선택할 수 있습니다. 손쉬운 운영 및 데이터 관리와 결합된 뛰어난 가시성 (visibility) 및 해상도 (resolution) 를 통해 모델을 결함 분석 및 예방 유지 보수에 이상적인 툴로 만들 수 있습니다.
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