판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293759533
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ID: 293759533
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Inspection system, 12"
EFEM
Carrier:
(3) Advantage SW CID, Phx, Shinko (Load port)
8 User-configurable LEDs to display the load port status
Load / Unload button for manual delivery hand-off
Cassette / Wafer mapping: FOUP and detect wafer
Empty slots and cross-slotted wafer
Chamber:
Powder coat panels kit: 8"-12"
Vacuum option optical filter
Load port vacuum: Tripple, 12"
FIMS Application:
Edge exclusion: 2 mm
Oblique incidence illumination (High / Standard / Low)
Normal incident illumination (High / Standard / Low)
Enhanced XY Coordinates
IDM SP2
PC:
Processer: Intel Xeon CPU 3.20 GHz
Handler: SecondaryUI, Phoenix, SP2
RAM Memory: 3.5 GB
DVD-ROM
Mouse
Keyboard
3.5" Floppy
Facilities:
CDA: > 28.3 Nl/min, > 6.6791 kg/cm2
VAC: > 28.317 l/min, >-700 mm Hg
Power supply: 208 VAC, 3 W-N
2010 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2는 반도체 산업에 사용되는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 제조 과정에서 결함을 감지하고 포토 마스크 및 웨이퍼의 품질을 보장합니다. 이 혁신적인 시스템은 첨단 기술과 고정밀도 (High Precision) 를 결합하여 철저한 검사 기능을 제공하며, 반도체 제조업체는 고수율 생산을 유지하고 엄격한 품질 표준을 충족할 수 있습니다. KLA Surfscan SP2 장치의 핵심에는 정교한 이미징 기술이 있는데, 이 기술은 고급 광학 장치 및 센서를 사용하여 마스크 및 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 캡처합니다. 그런 다음 강력한 알고리즘과 소프트웨어를 사용하여 입자, 패턴 편차 (pattern deviations), 반도체 장치의 성능과 신뢰성에 영향을 줄 수있는 기타 이상 (anomalies) 등 다양한 유형의 결함을 감지하고 분류합니다. TENCOR SURFSCAN SP 2 (TENCOR SURFSCAN SP 2) 의 주요 특징 중 하나는 미세한 수준에서 마스크와 웨이퍼를 검사하는 기능으로, 가장 작은 결함조차도 정확하게 식별하고 분류하는 것입니다. 이 정밀도 (level of precision) 는 반도체 업계에서 매우 중요한데, 회로 패턴의 크기와 밀도가 계속 줄어들어 전통적인 검사 방법으로 결함을 감지하는 데 점점 더 어려움을 겪고 있습니다. SURFSCAN SP 2 (SURFSCAN SP 2) 에는 여러 검사 모드가 장착되어 있어 제조 프로세스의 특정 요구 사항에 따라 검사 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이러한 모드에는 브라이트필드 (brightfield), 다크필드 (darkfield) 및 하이브리드 이미징 (hybrid imaging) 모드가 포함되며, 각 모드는 다양한 유형의 결함을 감지하고 검사 성능을 최적화하는 고유한 기능을 제공합니다. 또한, Surfscan SP2는 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자가 효율적으로 검사를 설정하고 실행할 수 있으며, 검사 프로세스를 간소화하고, 운영 중단을 최소화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동화된 결함 검토 (Review Review) 및 분류 (Classification) 기능을 제공하여 수작업 없이 신속하게 결함을 파악하고 분석할 수 있으며, 생산성과 생산성을 더욱 높일 수 있습니다. TENCOR Surfscan SP2는 결함 감지 외에도 중요한 치수 측정을 수행할 수 있으며, 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 기능 크기와 모양에 대한 귀중한 데이터를 제공합니다. 이 정보는 반도체 장치의 정확성을 보장하고 제조 (manufacturing) 에서 프로세스 제어를 유지하는 데 필수적입니다. 전반적으로 KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 툴로서 결함 감지, 반도체 장치의 품질 보장, 반도체 산업의 생산 효율성 향상 등의 탁월한 기능을 제공합니다. 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology), 다중 검사 모드 (Multiple Inspection Mode) 및 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 반도체 제조업체가 프로세스에서 높은 수익률과 신뢰성을 달성하기 위해 노력하는 강력한 툴입니다.
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