판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293745400

KLA/TENCOR Surfscan SP2는 동적 및 결함 감지 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 혁신적인 설계를 통해 고급 이미징 (imaging), 측정 (measurement) 및 결함 감지 (defect-detection) 기술을 결합하여 제조업체가 결함을 정확하게 파악하고 부품 품질 제어 솔루션을 제공할 수 있도록 지원합니다. 검사 장치에는 고속 컬러 CCD Image Acquisition Machine (컬러 CCD 이미지 획득 기계) 이 장착되어 있어 초당 최대 300픽셀까지 데이터를 수집하여 마스크 및 웨이퍼 기능을 신속하게 이미징할 수 있습니다. 이 도구는 또한 자동 클리닝 도구 모음으로, 최적의 검사 성능을 제공합니다. 에셋은 또한 입자 오염, 임계 치수 결함, 서브 픽셀 결함을 포함한 서브 미크론 결함을 감지 할 수 있습니다. 영역 당 최대 4 배 해상도의 이미징 센서는 확장 (dilation), 수축 (contraction) 및 명암비 제어 기능을 제공하여 사용자가 이미징 매개변수를 다양한 마스크 및 웨이퍼 유형에 맞게 조정할 수 있습니다. 모델의 강력한 결함 감지 알고리즘 (Defect Detection Algorithm) 은 인쇄 오버레이, 입자 오염, 임계 치수 결함 등 다양한 유형의 결함을 식별하도록 설계되었습니다. 이 알고리즘은 삼각 결함, 해상도 요구 사항, 페인트 결함 등 가능한 이상을 감지 할 수도 있습니다. 또한, 장비에는 독점 "레이저 '정렬 도구가 장착되어 있는데, 이 도구는 이미지를 재료 형상에 맞추어 조정하고, 검출 정확도를 향상시키는 데 사용됩니다. KLA Surfscan SP2에는 다양한 재료 조건 및 구성을 시뮬레이션하고 결과를 적용하고 잠재적 결함을 식별하는 데 사용할 수있는 매우 민감한 결함 탐지 연구소 (Defect Detectivity Lab) 가 있습니다. 이 시스템에는 특정 도구와 기능에 쉽게 액세스할 수 있는 사용자 정의 도구 모음 (custom toolbar), 문제 해결을 용이하게 하는 통합 진단 도구 (Integrated Diagnostic Tools), 응용 프로그램 탐색을 용이하게 하는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 등 다양한 사용자 친화적 기능이 포함되어 있습니다. 또한 Customer Account Management (고객 계정 관리) 기능을 무제한으로 제공합니다. 따라서 사용자는 언제든지 작업을 절약하고 프로젝트를 신속하게 액세스할 수 있습니다. TENCOR SURFSCAN SP 2는 제조업체가 빠르고 정확하게 결함을 식별하고 해결할 수 있도록 설계된 강력한 검사 머신입니다. 강력한 하드웨어, 직관적인 소프트웨어를 통해 다양한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 요구에 이상적인 솔루션이 됩니다.