판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293643757

KLA/TENCOR Surfscan SP2는 반도체 기판에서 중요한 크기를 측정하기위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 이미징 기능을 결합하여 탁월한 해상도와 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 다양한 확대 옵션과 각도를 가진 고해상도 광학 장치 (optical unit) 를 갖추고 있습니다. KLA Surfscan SP2는 타이트 라인 너비 (Tight Line Width) 에서 대형 및 복합 패턴 (Large & Complex Pattern) 에 이르기까지 최대 300mm 크기의 샘플을 이미징 할 수 있으며 최고 수준의 프로세스 모니터링 및 제어를 제공합니다. TENCOR SURFSCAN SP 2의 광학 머신 (optics machine) 은 가장 높은 정도의 정확도를 제공하도록 설계되었으며, 복잡한 패턴에서도 선명한 이미징을 보장하는 광범위한 심도를 제공합니다. 밝기가 높은 광원은 신호 대 노이즈 비율의 최대 효율성을 보장하는 반면, 최적화 된 시야는 고르지 않은 지형에서도 단일 시야의 뛰어난 광각 조명 (wide-angle lumination) 을 제공합니다. 이렇게 하면 공구가 작은 결함 또는 피쳐 측정 오류를 감지할 수 있습니다. 서프 스컨 SP2 (Surfscan SP2) 의 고속 자동 초점 에셋은 타이트 라인 패턴, 비아 (vias) 및 접촉 구멍 (contact holes) 을 포함하여 샘플의 모든 깊이에서 기능 사진을 쉽게 수집하여 최대 정확도를 제공합니다. 이 모델에는 몇 가지 포인트 앤 클릭 (point-and-click) 도구 세트가 포함되어 있으므로 수동으로 조정하지 않고 기판 서피스를 수용할 수 있습니다. 또한 SURFSCAN SP 2는 빠른 이미지 획득 속도와 스마트 템플릿 기반 워크플로우를 통해 생산성을 향상시킵니다. KLA/TENCOR SURFSCAN SP 2는 초고해상도 광학 장비로 정확한 CD (Critical Dimension) 측정이 가능합니다. 이 시스템의 고급 이미징 기능 (예: 다중 이미지 스택, 타임 랩스 이미징, 원거리 이미징) 은 정확한 간격 측정을 제공하며, 최고의 CD 위반까지 감지할 수 있습니다. 자동화된 결함 감지 (Automated Defect Detection) 및 식별 엔진 (Identification Engine) 외에도 포괄적인 분석 기능을 사용하여 사용자는 최고 수준의 품질 및 프로세스 제어 (Process Control) 표준을 유지할 수 있습니다. TENCOR Surfscan SP2는 사용자 친화적으로 설계되었으며 특정 고객 요구를 충족할 수 있습니다. 기존 도구 체인에 통합될 수 있으며, 고급 이미지 분석 (advanced image analysis) 기능을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 간편하고 직관적인 인터페이스와 신속한 작업 실행을 위한 사용자 정의 자동 (automated) 프로세스를 제공합니다. KLA SURFSCAN SP 2는 생산 결함을 줄이고 비용 절감을위한 이상적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다.