판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293624108

KLA/TENCOR Surfscan SP2는 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 옵틱 (optic) 과 소프트웨어 (software) 를 사용하여 균일성과 형태에 대한 웨이퍼 모서리 및 기타 기능을 검사합니다. 자동화된 팔레트를 사용하면 웨이퍼 처리 (wafer handling) 및 전송 (transport) 이 가능하며, 고유한 보정 장치를 통해 각 웨이퍼가 가장 정확한 형태로 처리됩니다. 이 기계는 또한 업계 표준 마스크 (Mask) 를 지원하여 전송 웨이퍼 (Wafer Transfer) 를 지원하므로 대용량 마스크를 사용할 때 최적의 작동이 가능합니다. 이 도구의 광 하위 시스템은 공랭식, 펄스 크세논 조명원과 스캔 된 CCD 카메라로 구성된 2 단계 구성입니다. 에셋의 광학은 마스크와 웨이퍼 표면 (wafer surface) 을 모두 고해상도 이미징하도록 설계되었습니다. 조명 설계는 확산 장치 (diffuser) 와 좁은 각도의 마스킹 모델을 사용하여 균일 한 조명을 보장하는 반면, 선택 가능한 반사 방지 필터는 올바른 조명각을 보장합니다. 이 장비의 소프트웨어 제품군은 마스크와 웨이퍼 모두에서 결함을 감지, 분석, 등급 지정하도록 설계되었습니다. KLA Surfscan SP2는 일련의 알고리즘을 사용하여 입자, 부식, 긁힘, 왜곡 등 다양한 결함을 감지하고 등급을 매깁니다. 또한 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스의 추세를 분석하기 위해 SPC (Statistical Process Control) 뿐만 아니라 Setpoint Action을 사용자 정의하는 결함 도구 상자를 제공합니다. TENCOR SURFSCAN SP 2 장치는 다양한 애플리케이션의 요구를 충족할 수 있는 확장성과 유연성을 제공합니다. 조정 가능한 광학 머신 (Optical Machine) 을 사용하면 작은 표면 (Small Surface) 및 큰 서피스 (Large Surface) 기능을 모두 감지하고 검사할 수 있도록 시야를 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 웨이퍼 에지 결정 에셋 (Wafer Edge Determination Asset) 도 포함되어 있으며, 이는 검사를 위해 웨이퍼를 배치 할 때 추가 정확도 레이어를 제공합니다. SURFSCAN SP 2는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 고급 옵틱, 소프트웨어 제품군, 확장성을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 우수한 설계로, 장비는 빠르고 정확하게 다양한 결함을 감지하고 등급을 매길 수 있으며, 사용자는 안정적이고 정확한 검사 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).