판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 #293606549

KLA/TENCOR Surfscan SP2는 KLA Corporation의 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 첨단 전자 기기 (advanced electronic devices) 제작의 각 단계가 가능한 한 완벽에 가깝도록 설계되었으며, 매우 민감하고 복잡한 부품에 가장 정확합니다. 이 장치의 핵심은 ProTEG 소프트웨어로, 고급 2 차원 이미징 기술을 사용하여 나노 미터 수준까지 패턴 결함을 감지합니다. 'MCSI (Multi-Channel Spectral Imaging)' 기술은 여러 스펙트럼 밴드를 사용하여 기존 광학 시스템의 한계를 넘어 결함을 감지합니다. 이는 고급 패턴 인식 알고리즘 (advanced pattern recognition algorithm) 과 함께 작동하여, 그렇지 않으면 누락되거나 감지되지 않은 가장 어려운 결함을 감지합니다. 이 기술을 사용하여 SP2는 또한 오버레이, CD (critical dimension) 및 전기 결함에 대한 자동 검사를 수행합니다. 특허를받은 DFI (Darkfield Illumination) 기술은 회로 패턴에서 매우 희미하고 좁은 기능을 감지합니다. 전도 및 저항성을 분석함으로써 SP2는 브리징, 단락, 열린 회로 등 잠재적 인 전기 결함을 식별 할 수 있습니다. 또한 SP2에는 ScanEtch Plus (SEP) 및 Wafer Edge Inspect (WEI) 를 포함한 다양한 웨이퍼 검사 및 마스크 검사 기능이 제공됩니다. SEP는 중요한 기판 및 중요하지 않은 기판의 처리 개선을 위한 통합 다중 기판 허용량입니다. WEI는 웨이퍼의 도량형과 스크래치, 오염 등 다양한 유형의 결함을 검사합니다. 구성요소 이외에도 SP2 는 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 내장하여 직관적인 시스템 제어, 모니터링 및 설정 기능을 제공합니다. 또한 사용자 인터페이스를 사용하면 도구 내에서 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 검사 전략을 사용자 정의하고 다양한 외부 타사 자동화 시스템을 통합할 수 있습니다. 요약하면, KLA Surfscan SP2는 사용자에게 최첨단 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다. 혁신적인 기능과 기능으로 다양한 견고성 강화 (Rugged), 정밀 제조 환경에 적합합니다.