판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP2 XP #9215848

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ID: 9215848
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Particle measurement system, 12" 2011 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP는 고급 이미지 알고리즘을 사용하여 뛰어난 이미지 품질과 정확도를 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 그것 은 다른 "마스크 '와" 웨이퍼' 검사 "시스템 '에서 쉽게 탐지 되지 않는 결함, 오염 물질 및 기타 불완전성 을 탐지 하도록 설계 되었다. 300mm 및 200mm 직경의 마스크와 웨이퍼를 모두 검사하여 빠르고 정밀한 이미징 기능을 제공합니다. KLA Surfscan SP2 XP는 단색 제논 광원과 좁은 스펙트럼 수은 광원 (spectrum mercury light source) 의 두 가지 광원을 사용하여 시스템이 광범위한 결함, 오염 물질 및 기타 원치 않는 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 밝고 어두운 영역에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, 기계의 해상도와 신호 대 잡음 비율을 조정하여 정밀 이미징을 높일 수 있습니다. TENCOR Surfscan SP2 XP에는 매우 효율적이고 잘 설계된 광 도구가 있습니다. 여기에는 두 개의 독립적 인 광경이 포함됩니다. 하나는 크세논 광원이고 다른 하나는 수은 광원입니다. 이 자산은 또한 고급 이미징 프로세서 (advanced imaging processor) 와 소프트웨어 (software) 를 통해 빠르고 효율적인 결함 및 입자 감지 기능을 제공합니다. 이 모델은 초점이 넓어 대형 (large) 구조와 소형 구조 모두에 적합합니다. Surfscan SP2 XP에는 내장 진공 척 (vacuum chuck) 이 장착되어 있어 마스크나 웨이퍼를 쉽고 안전하게 배치할 수 있습니다. 또한 다양한 이미지 캡처 (image capture) 옵션을 제공하며, 이 옵션에 따라 나란히 비교하거나 전체 필드 이미징 (full-field imaging) 을 수행할 수 있으며, 관심 영역을 정의할 수 있습니다. 장비의 유연성과 사용 편이성을 통해 빠르고 간편한 설치/사용 가능. 또한 고급 소프트웨어로 시스템 자동화가 특히 효율적입니다. 이 장치는 제조 환경에서 기존 이미징 장비 (Imaging Equipment) 와 통합하여 인라인 검사 프로세스 (Inline Inspection Process) 를 완료하도록 설계되었습니다. KLA/TENCOR Surfscan SP2 XP (Surfscan SP2 XP) 는 고급 이미징 알고리즘을 통해 뛰어난 성능과 안정성을 제공하여 광범위한 결함, 결함, 오염 물질 및 기타 원치 않는 기능을 감지할 수 있습니다. 고급 옵티컬 머신 (Optical Machine) 과 이미지 프로세서 (Image Processor) 는 최고 수준의 이미징 품질을 제공하며 유연성과 사용 편이성을 제공하여 효율적이고 정확한 검사를 제공합니다. 탁월한 이미징 기능을 갖춘 KLA Surfscan SP2 XP는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 제품의 품질과 안정성을 보장하는 데 필수적인 도구입니다.
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