판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9410848

KLA/TENCOR SP1 Classic (KLA/TENCOR SP1 Classic) 은 반도체 장치 제조에서 중요한 프로세스 단계에 대한 프로세스 제어, 항복 개선 및 결함 모니터링을 위해 설계된 보편적이고 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 수율, 프로세스 성능, 수율 추세를 신속하고 자동화된 데이터 중심 런타임 (Runtime) 분석 기능을 제공하여 중요한 의사 결정을 신속하고 정확하게 수행할 수 있습니다. 이 장치는 프로세스 툴 (process tools) 과 운영 데이터베이스와 통합하여 생산성을 높여 최종 사용자가 프로세스를 최적화하고 제품 주기 (product cycle) 를 단축할 수 있도록 합니다. KLA SP1 Classic은 고급 이미징 기술을 사용하여 리소그래피, 에칭, 증착, 웨이퍼 코팅 등 다양한 생산 단계를 거칠 때 웨이퍼와 마스크를 검사합니다. 컬러 카메라 (Color Camera) 가 포함되어 있어 최대 10,000x 배율의 여러 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이렇게 하면, 기계가 감지할 수 없는 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP 1 CLASSIC에는 웨이퍼 및 마스크를 정확하게 측정 할 수있는 AutoFocus 도구가 내장되어 있습니다. 이 자산은 지형, 오버레이 검사 및 정렬, 저항 프로파일 등을 측정 할 수 있습니다. 또한, 모델은 다양한 크기의 반복 구조와 구조를 식별 할 수 있으며, 전통적인 이미징 장비 (영상 장비) 를 발견하기 어려운 웨이퍼 (wafer) 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 SP1 Classic 은 마스크 및 웨이퍼 검사로부터 수집한 데이터를 캡처, 분석, 비교하는 소프트웨어 플랫폼을 제공합니다. 이 플랫폼을 사용하면 자동화된 결함 감지, 3 차원 디스플레이, 고해상도 이미지 개선, 스펙트럼 분석, 고급 데이터 마이닝 알고리즘 등의 고급 기능을 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 획득한 이미지에 액세스할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 데이터를 항상 정확하고, 최신 상태로 만들 수 있습니다. 마지막으로, KLA/TENCOR SP 1 CLASSIC은 효과적이고 신뢰할 수있는 검사 시스템으로, 높은 정확성과 정확도를 제공합니다. 이 제품은 다른 프로세스 툴과 통합함으로써 최종 사용자의 생산량 향상, 프로세스 효율성 향상, 제품 주기 (cycle), 운영 비용 절감 효과를 실현합니다.