판매용 중고 KLA / TENCOR Surfscan SP1 Classic #9211403

KLA/TENCOR SP1 Classic은 생산 및 연구 및 개발 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 가장 까다로운 결함 검사 어플리케이션을 위한 고해상도 직접 검사 (Direct View Inspection), 자동 결함 검토 (Automated Defect Review) 및 광 인라인 (Optical In-Line) 도량형의 조합을 제공합니다. SP1 시스템은 다양한 크기, 확대/확대/반복 비율의 이미지를 빠르고 정확하게 얻을 수 있도록 조정 가능한 이미징 설계를 제공합니다. 이미징 디자인에는 다양한 디지털 이미지 및 소프트웨어 구성 요소 (예: 고급 광도 인식, 방사선 인식, 패턴 식별 알고리즘, 다중점 조명 장치) 가 포함됩니다. SP1 기계는 또한 최대 1.0 미크론 피치의 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 제공하며, 이는 CD (critical-dimension) 구조를 보는 데 충분하고 저배율 결함을 이미징하기에 충분합니다. 또한, SP1 툴은 초당 최대 2000 프레임의 속도로 이미지를 캡처할 수 있으며, 24 시간 내에 전체 웨이퍼 (wafer) 를 이미지로 구성할 수 있습니다. SP1 에셋의 이미징 설계는 최첨단 결함 검토 (Defect Review) 모델로 보완되며, 이는 비전 알고리즘, 복잡한 데이터 분석 도구, 정교한 자동 분류 장비의 강력한 조합을 사용합니다. 이 결함 검토 시스템은 프로세스 유발 입자, 개방/트렌치 결함, PSM 등 다양한 결함 유형에 대한 자동 검사를 용이하게 합니다. 결함 검토 장치는 사용자 정의 테스트 (예: 자동 BGA 연결 테스트, 단순 픽셀 비교 테스트) 를 통합하도록 구성할 수도 있습니다. 또한, SP1 기계에는 통합 광학 인라인 도량형 (optical in-line metrology) 도구가 있으며, 이는 웨이퍼 프로파일 형태 및 관련 임계 치수에 대한 포괄적 인 측정을 제공합니다. 이 도량형 자산은 오버레이, 선 너비 및 간격, critical area 크기, critical layer 두께, line edge roughness 등 다양한 중요 치수를 측정할 수 있습니다. 마지막으로, SP1 모델에는 이미지 데이터의 획득, 처리, 저장을 간소화하는 고급 소프트웨어 툴 (Suite) 도 포함되어 있습니다. 이러한 소프트웨어 도구에는 상세한 결함 분류 분석, 자동화된 결함 표시 및 수리 기능, 정교한 광도 및 방사선 이미징 옵션이 포함됩니다. 전반적으로 KLA SP1 클래식 (KLA SP1 Classic) 은 다양한 결함 검사 응용 프로그램에 광범위한 기능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이미지 처리 설계, 고해상도 이미징, 자동화된 결함 검토 시스템, 광학 인라인 (in-line) 도량형 기능을 갖춘 SP1 장치는 포괄적인 결함 검사 솔루션이 필요한 운영 및 연구 환경에 적합합니다.