판매용 중고 KLA / TENCOR Starlight SL303 UV #9237964

KLA/TENCOR Starlight SL303 UV는 반도체 장치의 결함을 감지하고 평가하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광시야각 (wide field of view) 과 고해상도 (high resolution) 를 모두 갖추고 있어 마스크 및 웨이퍼 기판의 모든 기능을 높은 정확도로 검사할 수 있습니다. 이 장치 가 자외선 을 사용 하면, 가장 작은 결함 과 입자 오염 물질 을 탐지 할 수 있게 된다. "깨어라!" SL303 UV (Advanced Optics and Algorithm) 는 컴퓨터 제어 모터 스테이지 및 레이저 내비게이션 기술과 결합된 독자적인 고급 광학 및 알고리즘을 사용하여 기판의 넓은 영역을 빠르고 정확하게 검사합니다. 이 기계는 0.5 마이크로미터 정도의 작은 기능을 감지 할 수 있으며, 전통적인 이미징 기술로 감지하기 어려운 트릴레이어 마스크 (trilayer mask), 매우 얇은 레이어 (ultra-thin layer) 및 기타 기판을 검사할 수 있습니다. 고해상도 카메라는 최대 10 000 x 10 000 픽셀 해상도로 이미지의 각 프레임을 캡처합니다. SL303 UV에는 여러 가지 중요한 안전 및 환경 기능이 있습니다. 클린 룸 (Cleanroom) 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 자산 오작동 시 활성화할 수 있는 안전 모드 제어 도구 (Safe-Mode Control Tool) 가 장착되어 있습니다. "레이저 '안전" 파라미터' 는 작동 중 의 운전자 들 의 안전 을 보장 하기 위하여 엄격 히 감시 되고 유지 된다. 사용자 친화적인 제어 인터페이스를 통해 검사 작업을 쉽게 설정할 수 있고, 통합 보고 (Integrated Reporting) 기능을 통해 검사 결과를 추적할 수 있습니다. 이것은 정확하고 반복 가능한 테스트 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 또한 SL303 UV 에는 내장형 이젝터 (ejector) 모델이 있는데, 이 모델은 결함이 있는 부품을 자동으로 꺼내 프로덕션으로 전송하지 않도록 합니다. KLA Starlight SL303 UV는 높고 정확하고 반복 성을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 (Optic), 자동 제어 시스템 (Automated Control System), 통합 안전 (Safety) 기능이 결합되어 있어 정확한 검사를 위한 이상적인 솔루션입니다.