판매용 중고 KLA / TENCOR Starlight SL3 UV #293815985

KLA / TENCOR Starlight SL3 UV
ID: 293815985
Reticle inspection system.
KLA/TENCOR Starlight SL3 UV는 패턴 된 기판 레이어의 이미징 및 자동 검사에 사용되는 강력한 첨단 Wafer 및 Mask Inspection Equipment입니다. 5 미크론의 고해상도 이미징 기능과 시간당 최대 30 웨이퍼의 자동 브라이트필드/다크필드 검사 속도를 갖추고 있습니다. KLA Starlight SL3 UV는 CCD (Charged Coupled Device) 카메라와 고급 조명 기술의 최대 잠재력을 제공하는 강력한 이미지 획득 Shuxploite를 제공합니다. 여기에는 패턴 레이어에서 작은 결함, 불완전성, 비 균일성을 감지하고 측정하는 데 사용되는 동시 밝은 필드 및 다크 필드 이미징 (dark field imaging) 이 포함됩니다. 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 을 통해 시스템은 다양한 레이아웃 레이어와 패턴 구조에 대한 체계적인 개요를 만들어 이를 신속하게 분석하고 비교할 수 있습니다. 검사 기능 측면에서 TENCOR Starlight SL3 UV는 AOP (Automated Optical Probing) 를 갖춘 고급 자동 광학 검사 (AOI) 기능을 제공합니다. 이 AOP 기술을 통해 사용자는 다른 수준의 세부 (detail), 해상도 (resolution) 로 패턴 영역을 정의한 다음 해당 영역을 신속하게 스캔하여 심층 분석 및 비교를 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 추가 분석을 위해 통계 분석을 통해 상세한 마스크 보고서를 생성 할 수 있습니다. 성능 측면에서 Starlight SL3 UV 는 매우 안정적이며 다양한 기능을 제공합니다. 첨단 조명 기술 (Advanced Limumination Technology) 은 정확하고 신뢰할 수있는 결과를 위해 높은 명암과 균일 한 조명을 보장합니다. 고속 스캔 기능을 통해, 기계는 작은 결함과 변형을 신속하게 감지할 수 있습니다. 또한 고해상도 이미징, 자동화된 다크 필드, 밝은 필드 이미징, 자동 광학 프로빙 (AOP) 기술, 고급 통계 분석 등 다양한 기능을 제공합니다. 결론적으로, KLA/TENCOR Starlight SL3 UV는 패턴 레이어를 빠르게 검사하고 비교하는 데 필요한 도구와 기능을 제공합니다. 고급 이미징 및 자동화 기술을 통해 사용자는 작은 결함, 결함, 불균일 성을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한 고해상도 이미징, 고급 조명, 자동화된 광학 조사 (Optical Probing) 및 통계 분석 기능을 갖춘 상세한 보고서를 통해 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.
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