판매용 중고 KLA / TENCOR STARlight SL3 URSA #9067571

KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA Mask & Wafer Inspection Equipment는 반도체 장비 제조업체 KLA가 만든 초해상도 이미징 및 분석 시스템입니다. 이 장치는 웨이퍼, 마스크 및 기타 반도체 구성 요소에 대한 안정성, 정확성, 고해상도 검사, 분석을 위해 설계되었습니다. KLA STARlight SL3 URSA는 이전 STARlight 플랫폼의 향상된 버전이며, 향상된 광학 성능을 제공합니다. 광학 머신은 최대 0.6 미크론 해상도를 제공하여 넓은 지역에서 하위 옹스트롬 표면 높이 (sub-angstrom surface height) 측정을 가능하게합니다. 또한 최첨단 조명 (lumination) 도구를 사용하여 대비를 개선하고 소음을 줄입니다. 이 자산에는 통합 모듈식 헤드가 있습니다. 따라서 고객의 요구 사항에 따라 여러 가지 구성과 유연한 설정이 가능합니다. 이 모듈식 헤드에는 사용자 지향 인터페이스를 갖춘 고급 실시간 Intraspection 모델도 포함되어 있습니다. 이 "인트라섹션 '장비 는" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 여러 가지 결함 을 측정 할 수 있으며, 그 결과 생기는" 이미지' 는 각도 가 다르다. 시스템의 통합 분석 소프트웨어는 사용자 친화적이며 사용하기 쉽습니다. 이른바 '역 인쇄' 기능과 같은 다양한 구조와 마스크를 분석 할 수 있습니다. 또한 일반 데이터베이스에서 프로파일로메트리 (Profilometry) 및 다중 레이어 검사 (Multilayer inspection) 와 같은 다중 재료 이미징 시스템을 분석할 수 있습니다. TENCOR STARlight SL3 URSA에는 강력한 현미경 장치도 제공됩니다. 해상도 0.2 미크론 (미크론) 의 고출력 오브젝티브 렌즈를 장착해 마스크 레이어 (mask layer) 인터페이스나 불규칙성을 검사하는 데 적합하다. 집적 "마스크 '검사기 는 또한 입자 오염, 발굴, 잔류 와 같은 결함 을 감지 할 수 있다. STARlight SL3 URSA는 설치하고 작동하기 쉬운 소형 도구입니다. 강력한 기계식 디자인과 함께, 안정된 작동을 위한 무진동 (Vibration-Free) 플랫폼이 특징입니다. 또한 자동 초점 기능, 프로그래밍 가능한 스캔, 다중 매개변수 조정 (multiple parameter adjustment) 등 다양한 고급 자동화 툴이 제공됩니다. KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA는 반도체 산업을위한 효율적이고 비용 효율적인 웨이퍼 및 마스크 검사 자산입니다. 탁월한 옵티컬 성능과 강력한 소프트웨어를 통해 고밀도 (high-precision) 검사를 받을 수 있습니다. 신뢰할 수 있으며 정확하고 안정적인 결과를 보장합니다.