판매용 중고 KLA / TENCOR StarLight 300 SL300 #9083887

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ID: 9083887
빈티지: 1996
Inspection system, 1996 vintage.
KLA/TENCOR StarLight 300 SL300은 생산 공정의 결함을 감지하는 데 가장 높은 수준의 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 뛰어난 해상도를 자랑하는 SL300 은 반사율 (Reflectivity) 이 약간 변경되어 가장 미세한 결함 (Minute Defect) 까지 감지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 생산 시간을 변화시킬 가능성이 있으며, 효율성 및 정확성 향상을 통해 비용이 많이 드는 재작업을 줄일 수 있습니다. KLA StarLight 300 SL300은 다양한 파장을 전개하도록 설계되었으며, 이를 통해 광범위한 문제 영역을 신속하게 분석할 수 있습니다. 이 장치에는 가장 작은 결함을 식별하기 위해 특수 광학 검사 기술 (Optical Inspection Technology) 에 의존하는 향상된 마스크 감지 기술 (Enhanced Mask Detection Technology) 이 있습니다. SL300 은 복잡한 선 너비의 결함 (가장 까다로운 마스크) 을 신속하게 파악하고 찾을 수 있습니다. 또한, 금속 및 비금속 웨이퍼 모두에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다중 채널 모드 (multi-channel mode) 를 포함한 여러 가지 특수 기능을 제공하며, 이를 통해 단일 검사 알고리즘이 여러 개의 광 신호를 처리 할 수 있습니다. 이를 통해 여러 수동 검사에서 연산자 바이어스 (bias) 오류를 줄일 수 있으며 결함 감지 속도가 빨라집니다. 또한 SL300 은 사용자 정의 검사 매개변수를 정의하여 공구의 유연성을 더욱 높일 수 있는 기능을 제공합니다. SL300에는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어, 극도로 정확한 결함 이미지를 캡처하고, 이는 정교한 하드웨어/소프트웨어 알고리즘으로 처리됩니다. 분석 프로세스 (analysis process) 를 거친 후, 에셋은 근본 원인을 파악하기 위해 신속하게 식별, 격리 될 수있는 각 결함의 특정 유형과 위치를 식별하는 보고서를 생성합니다. 마지막으로, SL300 모델에는 다양한 액세서리와 소프트웨어가 포함되어 있어 운영 편의성과 유연성이 더욱 향상되었습니다. 인수 및 분석 (Acquisition and Analysis) 소프트웨어 (옵션) 를 사용하면 캡처 데이터에 대한 액세스 속도가 가장 빠르며 즉석에서 정확한 결함 탐지가 가능합니다. 또한, 자동화된 결함 분석 (Automated Defect Analysis), 다중 샘플 모드 (Multiple Sample Mode) 및 색상 검사 (Color Inspection) 와 같은 소프트웨어 옵션의 이점을 얻을 수 있어 장기간의 수동 검사 시간이 더욱 단축됩니다. TENCOR StarLight 300 SL300 (TENCOR StarLight 300 SL300) 은 생산 과정에서 결함을 감지하는 데 가장 높은 수준의 정확성과 정밀도를 제공하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 탁월한 해상도, 멀티 채널 모드, 옵션 기능 소프트웨어를 갖춘 SL300 은 견고하고, 안정적이며, 시간 효율적인 검사 시스템을 원하는 운영 환경에 적합합니다.
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