판매용 중고 KLA / TENCOR Spectra CD-XT #293824131

KLA / TENCOR Spectra CD-XT
ID: 293824131
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Scatterometry metrology tool, 12" Inline CD and profile measurements 2009 vintage.
KLA/TENCOR Spectra CD-XT는 고급 반도체 제조를위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 우수한 에지 해상도, 1 ~ 2.5 나노미터 기하학적 측정 및 초저소음 측정 기능을 결합하여 반도체 제조업체가 생산 라인에서 결함을 신속하게 파악, 제거, 비용 최소화, 수익률 및 처리량 향상 등의 효과를 제공합니다. KLA Spectra CD-XT는 포토 마스크 플레이트에서 웨이퍼까지 다양한 기판을 검사하도록 설계되었습니다. 세부적인 결함 및 사용 분석을 위해 내장형 웨이퍼 엣지 (wafer edge) 감지 시스템과 정밀 광학 측정 장치 (optical measurement unit) 를 갖추고 있습니다. 즉, 기계는 웨이퍼와 마스크 모두에서 가장 작은 결함 (최대 1 nm) 을 감지 할 수 있으며, 이는 수익률에 영향을 줄 수 있습니다. TENCOR SPECTRA CD XT는 강력한 이미지 자동 초점 및 자동 조정 기능으로 최적화되어 있어, 마스크와 웨이퍼 모두를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 고정밀도 광학 (optical) 도구를 활용하여 스캔된 입자에 초점을 맞추고, 두 제품의 미세한 결함을 감지할 수 있습니다. 또한, 에셋은 최적의 해상도를 유지하기 위해 조절 가능한 큰 자외선 조명 모델과 저소음 CCD 이미지 (low noise CCD imager) 를 가지고 있으며, 이는 전체 측정의 노이즈를 줄이는 데 도움이됩니다. 이 장비는 또한 고급 결함 분류 (Advanced Defect Classification) 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 실제 경고와 잘못된 경고를 구분할 수 있으므로 전체 수율을 최적화할 수 있습니다. 또한 강력한 시각화 소프트웨어 (Visualization Software) 를 통해 제품 및 프로세스 변동성을 모니터링하면서 결함 검토/분석 작업을 단순화하고 속도를 높일 수 있습니다 (영문). 마지막으로, TENCOR Spectra CD-XT 는 KLA 의 유명 고객 지원 (Customer Support) 을 통해 지원되며, 이 지원은 최상의 서비스 및 기술 지원을 제공하여 시스템이 장기간 실행되도록 보장합니다. 이 제품은 최고의 품질과 수율을 보장하는 한편, 상당한 비용 절감 효과를 제공하는 반도체 (semiconductor) 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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