판매용 중고 KLA / TENCOR SP3 #9236717

KLA/TENCOR SP3는 고급 장치 제조를 위해 제작 된 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA 업계 최고의 광학 도량형 (Optical Metrology), 이미징, 분석 기술을 활용한 시스템은 밝은 빨간색 LED 이미징 엔진을 활용하여 탁월한 정확성과 인식 속도를 제공합니다. KLA SP-3 의 계층형 접근 방식은 각 애플리케이션에 필요한 특정 데이터를 수집하는 기능과 함께 탁월한 조명 (illumination) 및 픽셀 (pixel) 수준의 해상도를 제공합니다. 이 장치를 통해 제조업체는 여러 수준의 측정에서 데이터를 획득하고 비교하여 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 패턴을 정확하게 감지하고 식별할 수 있습니다. 고급 광학 검사 시스템 인 TENCOR SP 3는 고속 적외선 (IR) 레이저, 고급 광학, 광원 및 여러 이미지 센서로 설계되었습니다. 이 설계를 통해 이 도구는 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 시스템 모두에서 결함을 감지하고 뛰어난 해상도를 제공합니다. 자산은 단일 광파장만큼 해상도에서 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 패턴 모두에서 불량 (Defect) 을 비파괴적으로 측정하고 감지할 수 있습니다. 또한이 모델은 나노 미터 이하의 정확도를 제공합니다. 이 장비는 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자가 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, 시스템을 사용하여 쌓기, 브리징, 반바지, 오염 물질, 구덩이, 스크래치 등과 같은 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한, KLA SP 3는 원격 액세스 기능, 자동 프로세스 제어 최적화 (Automatic Process Control Optimization) 등 다양한 기능을 갖춘 사용자 친화적 소프트웨어 플랫폼을 통해 특정 애플리케이션에 대한 장치를 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. KLA/TENCOR SP 3 의 기능과 기능을 통해 디바이스 패턴의 우수한 검사 및 특성화에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 정확하고 효율적인 솔루션을 통해, SP 3 는 고급 디바이스 제조 및 중요 검사를 위한 최고의 선택입니다.