판매용 중고 KLA / TENCOR SP3 #9183008

KLA/TENCOR SP3는 반도체 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고성능 광학 및 이미징 시스템을 사용하여 웨이퍼, 마스크, 렌즈에 대한 검사 프로세스를 자동화합니다. 이 장치에는 광학 플랫폼, 이미지 분석, 이미징 구성 요소, 고급 터치스크린 데이터 검토 등 여러 구성 요소가 포함되어 있습니다. KLA SP-3은 최대 13K 픽셀 해상도의 고해상도, 완전 충전된 장치 이미징 CCD를 중심으로 구축되어 있어 웨이퍼, 마스크, 렌즈 및 기타 구성 요소의 고해상도 이미지를 생성합니다. 또한 TENCOR SP 3 은 고품질 디바이스를 캡처할 뿐 아니라, 결함 이미지를 캡처하고 참조 샘플과 다이-바이-다이 (die-by-die) 를 비교할 수 있습니다. 이런 식으로, 기계는 웨이퍼 성능에 영향을 줄 수있는 결함의 위치, 유형, 크기를 감지 할 수 있습니다. 이 툴에는 강력한 이미징 (Imaging) 및 데이터 검토 인터페이스 (Data Review Interface) 가 장착되어 있어 트렌드 플롯 (Trend Plot) 과 CD 맵 (CD Map) 을 포함하여 웨이퍼 성능에 대한 의견을 검토하고 달 수 있는 진정한 그래픽 환경을 제공합니다. 이 고급 기술에는 SmartDefect Recognition (SmartDefect Recognition), 결함 분류 (Defect classification) 와 같은 사용이 간편한 기능이 포함되어 있어 결함 특성을 신속하게 파악하고 분석할 수 있습니다. 이 에셋에는 기본 제공되는 결함 라이브러리 (BIST) 와 고성능 소프트웨어 (HPS) 알고리즘이 포함되어 있으며, 이 알고리즘은 사용자가 웨이퍼와 마스크를 빠르고 정확하게 분석할 수 있도록 해줍니다. KLA/TENCOR SP 3는 고급 이미징 기술과 사용하기 쉬운 터치스크린 기능 및 매우 직관적인 사용자 인터페이스를 결합합니다. 이 모델의 편리한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 사용자는 프로덕션 라인의 어느 시점에서든, 모든 규모의 검사 결과에 빠르게 액세스할 수 있으므로, 이해하기 쉬운 그래픽 프레젠테이션을 수행할 수 있습니다. 장비에 포함된 모든 부품은 안전 (Safety) 과 정확도에 대한 업계 표준을 완전하게 준수합니다. KLA SP3는 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 반도체 제조업체에 웨이퍼, 마스크, 렌즈 구성 요소의 결함을 감지, 분석, 수리하는 가장 효과적이고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 방법을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 강력한 이미징 (Imaging) 및 데이터 검토 (Data Review) 기능을 제공하여 비용 절감 효과를 극대화하고 디바이스 성능을 향상시키는 결함 특성에 대한 자세한 정보를 제공합니다.