판매용 중고 KLA / TENCOR SP3 #293648486

KLA/TENCOR SP3 Mask & Wafer Inspection Equipment는 반도체 마스크 및 웨이퍼의 결함을 감지하고 식별하기 위해 설계된 최첨단 이미징 및 분석 장비입니다. KLA SP-3에는 고급 옵틱, 고급 이미지 처리, 정교한 측정 소프트웨어가 장착되어 있어 모든 기능을 철저히 검사하고 측정할 수 있습니다. TENCOR SP 3는 독점적 인 "3D 조명" 기술을 사용하여 고해상도 이미지를 개발하여 정확한 결함 검사 및 측정에 사용됩니다. 이 시스템은 좁은 선과 단단히 결합된 공간을 포함한 가장 복잡한 모양의 선명하게 (clear) 이미지를 얻을 수 있습니다. 사용 된 고급 옵틱의 시야는 52 m이며, 기능 크기는 4 m까지 작을 수 있습니다. 이 장치의 조명 측면에는 다양한 LED 조명 스펙트럼 (LED lumination spectra) 과 뷰 영역의 고정밀 타겟팅 (high precision targeting) 이 포함되어 있어 선 너비, 치수, 위치 등의 피쳐를 자세히 검사할 수 있습니다. TENCOR SP-3 은 현지화된/글로벌 결함 측정이 모두 가능한 정교한 자동 측정 소프트웨어를 자랑합니다. 이 기계는 알고리즘과 사용자 정의 측정을 조합하여 선 너비, 치수, 위치 (LWDP) 위반, 임계 치수 (CD) 오류, 전도성 오류 등의 결함 유형을 예측하고 감지합니다. 또한 커패시턴스 (capacitance), 누출 (leakage), 산화물 포획 (oxide capture) 과 같은 회로 설계 문제를 해결하기 위해 특별히 구성되었습니다. KLA/TENCOR SP-3 툴은 사용자 친화적이며 작동이 간편합니다. 종합적이고 직관적인 인터페이스 (interface) 를 제공하여 손쉽게 드라이브, 검사, 측정, 결함 및 기능을 분석할 수 있습니다. 이 자산에는 포괄적인 지식 기반 접근 방식 (Knowledge Based Approach) 이 포함되어 있어 정보를 빠르고 쉽게 조회할 수 있습니다. SP-3 은 처리량 및 생산성 향상을 위한 일체형 (All-in-One) 툴을 제공하는 반면, 엔지니어는 반도체 제조 품질 및 효율성을 높이기 위해 결함을 빠르고 정확하게 감지하고 측정할 수 있습니다. 이 모델은 업계 최고의 고객 지원 엔지니어 (Customer Support Engineer) 팀이 지원하며, 장비 및 해당 기능과 관련된 문제나 질문을 모두 처리할 수 있습니다.