판매용 중고 KLA / TENCOR SP2 #9167412

KLA/TENCOR SP2는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 마스크 및 웨이퍼 표면의 고속, 고해상도 이미징을 제공하여 매우 민감한 결함 감지를 지원합니다. 시스템은 스캔당 1 ~ 2 개의 전체 웨이퍼를 스캔할 수 있으며, 개별 웨이퍼 스캔과 전체 웨이퍼 검사 간에 전환할 수 있습니다. 이 장치에는 광원, 카메라, 광학 챔버, 맞춤형 이미징 소프트웨어 등 4 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 광원은 세 가지 파장으로 구성된 맞춤형 LED 배열입니다. 이 구성은 균일하지만 고강도 조명을 제공합니다. 즉, 다른 노출 조건에서 이미지 품질이 일관성을 유지합니다. KLA SP-2의 카메라는 백라이미네이터 CCD 이미징 어레이입니다. 즉, 다양한 수준의 마스크 투명도와 반사도에 대한 감도를 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 고대비 이미징 (high-contrast imaging) 을 통해 기계에서 표면의 다양한 결함 및 기타 특성을 감지할 수 있습니다. 광섬유 챔버 (Optics Chamber) 는 카메라와 이미지에서 원치 않는 낮은 수준의 광원을 필터링하고 카메라에 효과적인 초점을 제공합니다. 이 광학 챔버 (Optics Chamber) 는 공구의 고유한 조명 설정 (Illumination Setup) 과 함께 에셋의 깊이 (Depth of Field) 를 제어하는 역할도 하며, 응용 프로그램에 따라 얕거나 깊은 필드를 선택할 수 있습니다. 마지막으로, TENCOR SP 2 소프트웨어는 모델에서 생성한 이미지를 빠르고 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 여기에는 결함 감지, 자동 스티칭, 이미지 등록, 수차 수정 등 다양한 이미지 처리 알고리즘이 포함됩니다. 또한 이 소프트웨어를 통해 사용자는 분석 (analysis) 을 추가로 사용자정의하여 샘플 서피스의 특정 패턴이나 피쳐에 특수 알고리즘을 적용할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR SP-2는 매우 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 반도체 샘플의 정확하고 고해상도 이미징을 사용자에게 제공합니다. 다용도 옵틱 챔버 (optics chamber), 효율적인 LED 조명 어레이 (LED lumination array), 고급 이미지 처리 알고리즘을 통해 광범위한 결함을 감지하고 하위 마이크로미터 수준까지 기능을 사용할 수 있습니다.