판매용 중고 KLA / TENCOR SP2 #9023715

KLA/TENCOR SP2는 집적 회로 생산 과정에서 마스크와 웨이퍼를 검사하는 데 사용되는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA SP-2 의 놀라운 정확성과 속도는 고급 광학/측정 기술과 자동화된 결함 감지 기능의 결과입니다. TENCOR SP 2는 CD (critical dimension) 및 MIS (micro-inspection system) 측정을 포함하여 마스크 및 웨이퍼를 성공적으로 검사하는 데 필요한 모든 주요 OPC (optical intimity correction) 매개변수를 측정합니다. 또한 OPC 모델 구축 기능을 포함하며 CD-SEM, CD-FTIR (푸리에 변환 적외선), CD-AFM (원자력 현미경), AUBO-OCT (광학 일관성 단층 촬영) 및 프린지 투영을 측정 할 수 있습니다. KLA SP 2의 최첨단 나노미터 레벨 측정 기술은 5 차원 정렬 장치를 사용하여 카메라 렌즈 위치와 각도를 조정할 때 향상된 유연성과 정밀도를 제공합니다. SP2는 특수 결함 감지 알고리즘 및 이미지 처리 필터를 사용하여 결과를 감지, 정량화 및 보고합니다. 클라 (KLA) 및 텐코 (TENCOR) 로 생성된 이미지를 읽는 것과 함께, 대형 이미징 라이브러리는 테스트 이미지를 좋은 컴포넌트의 기존 패턴과 비교하거나 검사 또는 도전에 대비하는 데 사용될 수도 있습니다. 예를 들어, 자동 누락 레벨 탐지 (automated missing level detection) 는 웨이퍼에 누락된 적절한 수준을 신속하게 식별할 수 있으므로 운영 프로세스의 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 마지막으로 SP 2 에는 센서의 Light Field Image 와 연동되는 연속 자동 정렬 머신이 포함되어 있습니다. 사용자가 해야 하는 모든 작업은 적절한 매개변수를 입력하는 것입니다. 즉, 공구가 자동 보정 (auto-calibrate) 을 통해 허용되지 않는 제품의 배치를 신속하게 감지할 수 있습니다. 또한, 자산의 자동 결함 인식 알고리즘은 90% 이상 안정적입니다. 즉, 모델이 복잡한 결함 및 분류를 독립적으로 감지 할 수 있습니다. 요약하면, TENCOR SP-2는 최신 광 및 측정 기술을 갖춘 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 결함을 감지하고 신속하게 분류하고, OPC 매개변수를 측정하고, 이미지를 자동 정렬할 수 있으므로, 이를 통합 회로 생산 프로세스에 없어서는 안 될 도구입니다.