판매용 중고 KLA / TENCOR SP2 #293595758

KLA / TENCOR SP2
ID: 293595758
웨이퍼 크기: 8"-12"
Inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR SP2는 반도체 검사 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학, 정교한 패턴 인식 알고리즘, 특수 광학 (optics) 을 사용하여 마스크와 웨이퍼를 모두 최고 수준의 정밀도로 검사합니다. 이 장치는 검사에서 최고의 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 레이저 간섭계 (laser interferometry) 와 고급 스캔 알고리즘 (advanced scan algorithms) 의 통합을 통해 칩과 마스크를 모두 정밀도 1 나노미터로 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이를 통해 표면 (surface) 의 스크래치 (scratch) 와 불규칙성 (imrularities) 과 같은 가장 미묘한 결함조차도 감지 할 수 있으며, 이는 반도체 제품의 장치 고장을 유발할 수 있습니다. KLA SP-2 도구에는 최신 광학 및 스캔 기술이 장착되어 있습니다. 고급 옵티컬 센서는 칩, 마스크, 기타 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 구성 요소를 포함한 다양한 구성 요소를 다양한 해상도로 스캔할 수 있습니다. 이 센서를 특수 광학 및 패턴 인식 알고리즘과 결합함으로써, 자산은 높은 정확도로 미묘한 세밀한 결함을 식별, 찾기, 감지 할 수 있습니다. 또한, 모델에는 자동 초점 조정 (automatic focus adjustment) 메커니즘이 장착되어 있어 스캔의 정확도를 더욱 향상시킬 수 있습니다. 이 장비는 다양한 독점 소프트웨어를 사용하여 검사 프로세스를 지원합니다. 이 시스템은 광범위한 결함 유형 (Firect Type) 을 인식하고 차별화하도록 프로그래밍되어 있는데, 이를 통해 제품에 위험을 초래할 수 있는 결함 유형 (Defect Type) 을 식별하고 구별할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 자동 프로세스 제어 알고리즘 (automatic process control algorithm) 으로 프로그래밍되어 다양한 장치를 지능적으로 신속하게 검사할 수 있으며, 따라서 감지된 결함이 적시에 해결됩니다. 마지막으로, 이 기계는 고급 해상도 (High-Grade Resolution) 모니터를 갖추고 있어 검사 결과를 빠르고 쉽게 검토할 수 있습니다. 이를 통해 연산자는 오류 및 결함을 신속하게 파악하고 필요에 따라 수정 조치를 취할 수 있습니다. 결론적으로 TENCOR SP 2는 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 고급 광학 (Advanced Optics), 정교한 패턴 인식 (Pattern Recognition) 알고리즘 및 특화된 광학 (Optics) 을 결합하여 높은 수준의 정밀도로 다양한 구성 요소를 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 모델은 지능형 소프트웨어 등급 (Intelligent Software Ratings) 을 통해 적시에 식별된 결함을 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 이 장비는 반도체 (반도체) 제품 제조에 잘 적합하며, 제품 무결성 (Product Integrity) 의 최고 표준을 보장하는 귀중한 도구를 제공합니다.
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