판매용 중고 KLA / TENCOR SP2 XP #9199327

KLA/TENCOR SP2 XP는 KLA의 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작에 사용되는 마스크 및 웨이퍼를 검사하기 위해 특별히 설계되었습니다. KLA SP2 XP는 고해상도 및 높은 처리량에서 뛰어난 웨이퍼 결함 검사를 제공합니다. TENCOR SP2-XP에는 강력한 2 메가 픽셀 (megapixel) 디지털 이미지 처리 장치가 있으며, 이로써 적은 크기의 결함을 정확히 평가할 수 있습니다. 검사기는 하향식, 기울어짐, 횡단면, 반사 이미지 등 다양한 이미지 유형을 만들 수 있습니다. 또한 SP2 XP는 웨이퍼 검사 프로세스를 위해 355nm 또는 1064 nm의 파장을 가진 고 에너지 레이저와 통합됩니다. KLA SP2-XP는 입자 또는 다른 입자의 존재로 인한 신호를 포함하여, 매우 작은 결함 신호를 감지 할 수 있습니다. 또한, 고급 레이저 (advanced laser) 기술을 사용하여 웨이퍼 구조, 서피스 또는 컨투어에서 흔하지 않은 변형을 식별 할 수 있습니다. TENCOR SP2 XP는 또한 작은 또는 누락 된 참호, 버링 또는 구멍과 같은 손상되거나 누락 된 기능을 감지 할 수 있습니다. 고급 이미징 및 감지 기능 외에도 SP2-XP 는 여러 가지 생산성, 성능 기능을 갖추고 있습니다. 자산의 빠른 속도 (fast speed) 를 통해 다른 검사 시스템에 비해 일부 시간에 다양한 결함을 식별하기 위해 자동 시각 검사 (automatic visual inspection) 를 신속하게 수행할 수 있습니다. 또한, KLA/TENCOR SP2-XP의 높은 처리량은 검사 프로세스가 지연 없이 원활하게 수행되도록 합니다. 마지막으로, KLA/TENCOR SP2 XP (TENCOR SP2 XP) 에는 다양한 소프트웨어/하드웨어 옵션이 포함되어 있어 특정 요구사항과 요구 사항에 맞게 모델을 사용자 정의하는 데 많은 유연성을 제공합니다. 이러한 기능을 통해 KLA SP2 XP 는 제품 품질을 높이고 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 가 가장 엄격한 업계 표준을 준수하도록 할 수 있습니다.