판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9382809
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KLA/TENCOR SP1은 반도체 제조 마스크 및 웨이퍼를 이미징 및 검사하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 즉, 통합 이미징 모터, 센서, 옵틱이 내장된 공간 절약형 시스템, 소프트웨어 제품군, 그리고 고객의 제조 환경과 장치 통합을 단순화하는 플랫폼 (platform) 으로 구성됩니다. KLA SP1의 주요 목표는 고해상도 이미징 기술, 에지 맵 오버레이 기능, 검사 결과 (Inspection Results) 의 통계 분석, 선형성, 반복성, 정확성을 제공하는 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 을 통해 제조된 마스크 및 웨이퍼의 품질을 빠르고 안정적으로 검사하는 것입니다. TENCOR SP 1은 강력한 옵티컬 플랫폼으로 구성되어 있으며, 이 플랫폼은 고해상도 이미징과 뛰어난 조명을 제공하여 안정적이고 반복 가능한 검사 결과를 제공합니다. 이 기계에는 6 인치 또는 12 인치 웨이퍼 또는 마스크에 걸쳐 원활한 이미징 및 검사를 용이하게하는 통합 전동 X-Y 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 이미지 노이즈를 최소화하면서 이미지 수집을 최적화하기 위해 광학 경로를 빠르게 조정하는 고급 LPO (Light Path Optimizer) 기술이 포함되어 있습니다. SP 1 은 시간당 1000개의 이미지 속도로 작동하며, 실시간 분석을 위한 고속 및 정밀 이미징 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR SP 1과 관련된 소프트웨어 제품군은 워크플로우 자동화, 결함 감지, 항목 추적, 실시간 진단 기능을 제공하여 검사 프로세스를 최적화하는 소프트웨어 툴입니다. 공구 설정 시간을 줄이고, 실험실 테스트를 자동화하고, 검사 주기를 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 제품군에는 자체 종합 사용자 인터페이스가 포함되어 있으며 데이터 수집, 이미지 처리, 결함 분석, 항목 추적, 결과 검증, 보고 등의 강력한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 PDF, HTML, XML, CSV 등 다양한 형식으로 검사 결과를 생성할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP1 에는 고객이 제조 환경과의 통합을 단순화하는 플랫폼 (platform) 이 함께 제공됩니다. 자산 및 인벤토리 관리, 도량형 조정, 결과 검증을 위한 맞춤형 설치가 간편한 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 운영자와 KLA SP 1 자산 간에 원활한 통신을 보장하며 여러 SP1 시스템을 함께 연결할 수 있습니다. 이 플랫폼은 또한 추적 능력 (Traceability) 에 대한 상세한 작업 기록을 제공하여 생산의 효율성을 높이고 다운타임을 최소화합니다. 강력한 이미징 기술, 고급 소프트웨어 제품군, 지능형 플랫폼 등을 갖춘 KLA/TENCOR SP1 을 통해 반도체 디바이스, 웨이퍼, 마스크를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 수작업 결함이 없어지고, 손쉬운 통합을 통해 사용자 지정이 가능하며, 비용을 절감하고, 제조 공정의 효율성을 극대화할 수 있습니다.
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