판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9293262

KLA/TENCOR SP1은 웨이퍼 또는 포토 마스크에서 입자, 긁힘 또는 핀홀과 같은 표면 결함을 감지하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 인라인 도량형, 검사 및 사후 검토 기능의 조합으로 설계되었습니다. 다크필드 조명 (darkfield lumination) 으로 밝은 필드 조명을 오버레이하여 다양한 각도로 향상된 명암비 (contrast) 와 결함 감지 (defect detection) 를 제공하여 최고 감도를 생성합니다. 이 장치는 양면, 이중 빔 레이저 스캔 및 다중 파장 LED 광원을 사용하여 완전한 차원의 균일성과 검사 능력을 보장합니다. 사용자는 IMP (Advanced Inspection/Metrology Processing Machine) 를 사용하여 특정 프로세스 요구 사항에 다양한 측정 및 검사 모듈을 적용할 수 있습니다. 특허 출원 중인 5 배 고체 레이저 스캐너 (Laser Scanner) 는 2 배의 단일 스캔 안과 기술을 사용하여 고속 측정 및 데이터 정확성을 달성합니다. 더 정확성을 보장하기 위해 KLA SP1 은 자동화된 full-field imaging 툴과 여러 advanced algorithms for defect detection and analysis 를 활용합니다. 여기에는 고급 이미지 프로세싱 및 결함 감지 기능을 향상시키는 3D 이미지 처리 알고리즘이 포함됩니다 (영문). 또한, 자산에는 고급 소프트웨어 도구가 포함되어 있어 결함의 정확한 위치 지정, 크기 조정, 분류 등의 가치를 추가로 제공합니다. 탄력성이 높은 TENCOR SP 1은 극한의 온도, 가스 및 습도 조절을위한 환경 챔버를 갖추고 있습니다. 또한 트랙 장착, 고진폭 에어 나이프로 설계되었으며, 검사 전에 초미세 입자를 제거합니다. 이 모델은 효율성이 높으며, 자동화된 결함 검토 덕분에 편리하고 신속한 분석을 제공합니다. 32 로드 APC 모듈 및 집중 회로 (focused circuit) 옵션을 사용하면 단일 웨이퍼에서 높은 생산성과 결함 분석을 수행할 수 있습니다. 전반적으로, SP 1 은 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 처리 기능, 이미징 기능, 사후 검토 (post-inspection review) 기능으로 인해 높은 정확도와 품질 제어를 제공합니다. 반도체 업계에서 최적의 제품 품질 (Quality and process) 을 보장하는 귀중한 도구다.