판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9248730

KLA/TENCOR SP1은 광범위한 어플리케이션을 위해 설계된 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 도량형 (Metrology), 식별 (Identification) 및 항복 (Yield) 관리 기능을 결합하여 처리 문제에 대한 정확하고 안정적인 통찰력을 제공합니다. 그것 은 "트랜지스터 ', 금속 및 기타 결함 을 재빨리 식별 하고 고칠 수 있게 해 주며, 그것 은 비용 이 많이 드는 수율 손실 을 초래 할 수 있다. KLA SP1 장치는 성능과 정확도를 최대화하도록 설계되었습니다. DOTS (Dual Optical Sensor) 와 QOTS (Quad Optical Sensor) 의 두 가지 정교한 광 항목이 있습니다. DOTS는 KLA 고급 라인 스캐닝 (line-scanning) 기술을 사용하여 단계 전후에 웨이퍼 이미지를 검사하여 고해상도의 선명한 이미지를 제공합니다. QOTS는 더 높은 해상도를 제공하는 4 채널 광학 기계입니다. 두 센서 모두 입자, 긁힘, 열악한 리소그래피, 오버레이 문제 등 다양한 결함을 식별할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP 1 은 자동화된 결함 검토 모듈을 갖추고 있으며, 이 모듈을 통해 엔지니어와 운영자는 잠재적 결함을 신속하게 검토하고 분류할 수 있으므로, 시간이 많이 소요되는 수동 분석 작업을 수행할 수 없습니다. KLA/TENCOR SP 1은 고급 수율 관리 기능도 제공합니다. 자동 항복 추세, 비닝 (binning) 및 분류 기능은 측정하기 어려운 금속 결함 또는 트랜지스터 결함의 추세를 식별하는 데 도움이됩니다. 또한, 제조업체는 전통적인 방법으로 누락 될 수있는 이상을 식별 할 수 있으며, 발견되지 않은 결함으로 인한 수익률 손실을 줄일 수 있습니다. SP1은 강력하고 비용 효율적인 품질 보증 도구입니다. 고급 도량형 (Metrology), 식별 (Identification) 및 항복 (Yield) 관리 기능을 통해 제조업체는 프로세스 문제를 신속하게 감지하고 수정하여 스크랩을 줄이고 수익률을 높일 수 있습니다. 이 도구는 가장 까다로운 반도체 제조 작업의 요구를 처리하도록 설계되었습니다. 탁월한 고객 서비스 (customer service) 와 광범위한 서비스 네트워크 (service network) 를 통해 고객의 요구를 빠르고 효율적으로 해결할 수 있습니다.