판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9193057

KLA/TENCOR SP1은 고속, 정확성 및 생산성을 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 시스템은 다양한 반도체 생산 및 포장 환경에 적합합니다. 자동 로드 메커니즘을 갖춘 KLA SP1은 최대 8 개의 마스크 또는 1 개의 웨이퍼를 로드 할 수 있습니다. 최신 옵틱 및 민감도 검출기를 사용하여 각 마스크 또는 웨이퍼 서피스를 고해상도 (high resolution) 패턴으로 검사합니다. 이 장치는 마스크 또는 웨이퍼 서피스 (예: 스크래치, 피트, 오염 및 공백) 의 결함을 감지 할 수 있습니다. 고유한 CMT 공차 피쳐는 오정렬, 오차, 패턴 변형과 같은 체계적인 결함을 감지할 수 있습니다. 결과는 SPC 스타일 보고서에보고됩니다. TENCOR SP 1은 사용 및 구성이 용이한 개방형 아키텍처 플랫폼입니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 간편한 스크립팅과 사용자 정의를 위해 설계된 소프트웨어 환경이 특징입니다. 이 기계에는 충분한 저장 및 처리 기능을 제공하는 강력한 컴퓨터 툴 (computer tool) 이 장착되어 있습니다. 또한 3 차원 관점에서 결함을 분석 할 수있는 통합 결함 검토 워크스테이션이 포함되어 있습니다. TENCOR SP1은 프로덕션 환경을 위해 설계되었으며, 다양한 안전 기능이 통합되어 있습니다. 공간 필터와 듀얼 드라이브를 사용하면 정확성과 처리량이 최적화됩니다. 또한, 기본 제공 분석은 실시간 결함 분석을 제공하여 운영자가 자산 (asset) 기능을 활용할 수 있도록 합니다. 전반적으로 SP 1 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 안정적이고 강력한 모델입니다. 자동화를 통해 효율성과 정확성이 향상되고, 포괄적인 안전성 (Safety) 기능을 통해 최고 수준의 사용자 보호 (User Protection) 를 보장합니다.