판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9097785

KLA/TENCOR SP1 Mask and Wafer Inspection Equipment는 마스크 및 웨이퍼 응용 프로그램에 대한 매우 정확하고 안정적인 자동 검사 시스템입니다. 광학, 레티클, 웨이퍼 (wafer) 기능의 품질과 정확성을 보장하기 위해 반도체 산업 전반에 걸쳐 사용됩니다. KLA SP1은 고급 레이저-광학 감지 기술을 사용하여 중요한 치수, 모서리, 신부 및 기타 기능을 감지하고 식별합니다. 정확성과 반복성 (repeatability) 을 보장하기 위해, 또한 요청된 피쳐의 이상을 감지하기위한 특수 결함 감지 알고리즘을 통합합니다. 또한 패턴 이상, 브리징, 도펀트 오염, 선 너비 분산 및 기타 여러 매개 변수를 감지 할 수 있습니다. TENCOR SP 1은 최대 1/25,000/1 밀리미터의 비교 기능을 통해 높은 해상도와 정확한 결과를 제공합니다. 단위 정밀도는 최대 3 ½ m (0.003mm) 입니다. 이 정확도를 지키기 위해 Auto Focus, Digital Zoom 및 Global Illumination과 같은 여러 검사 구성 요소가 통합되어 있습니다. 감도 이퀄라이저 (Sensitivity Equalizer) 와 같은 추가 기능을 사용하면 최적의 검사를 위해 올바른 임계값과 민감도를 설정할 수 있습니다. 숙련되고 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (GUI) 를 통해 여러 웨이퍼 (Wafer) 또는 마스크 이미지를 나란히 비교하여 시각적으로 쉽게 확인할 수 있는 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한, 내장된 통계 분석기는 각 검사 결과를 평가하여 사용자에게 결과에 대한 자신감을 높입니다 (영문). 또한 KLA SP 1 에는 Report 생성 및 Export 기능과 Machine-to-Tool 네트워킹 및 네트워킹 옵션이 제공되므로 운영 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 글로벌 안전 요구 사항, 데이터 보안, ESD 표준을 준수하여 사용자에게 안심할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 SP 1 마스크 및 웨이퍼 검사 자산 (SP 1 Mask and Wafer Inspection Asset) 은 반도체 업계를 위한 고급적이고 신뢰할 수 있는 검사 툴로서, 웨이퍼와 마스크뿐만 아니라 기타 중요한 구성 요소의 품질과 정확성을 보장하는 높은 정확성과 정밀도 검사를 제공합니다.