판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9024558

KLA/TENCOR SP1은 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 탁월한 정확도와 정확도로 고급 회로 검사 및 분석을 가능하게 합니다. KLA SP1은 두 개의 디지털 카메라로 구성된 이중 뷰 광학 시스템을 사용하여 검사 (Inspection), 도량형 (Metrology), 결함 분류 (Defect Classification), OCR 및 기타 여러 기능을 제공하여 프로세스 제어 및 항복 최적화를 위한 완벽한 도구를 제공합니다. 직관적이고 사용이 간편한 소프트웨어에는 다양한 기능과 설정 (setting) 이 제공되며, 특정 요구 사항에 맞게 장치를 사용자 정의할 수 있습니다. TENCOR SP 1의 검사 기능을 사용하면 스크래치, 열기, 쇼트, 브리징, 균열, 거짓 형상 등과 같은 수많은 회로 결함을 감지 및 식별할 수 있습니다. 고급 레이저 빔 스티어링을 사용하여 KLA SP 1은 이상을 정확하게 찾아 시각적 마커로 명확하게 표시 할 수 있습니다. 도량형 (Metrology) 기능을 사용하면 오버레이 정밀도 (overlay accuracy) 또는 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 더 복잡한 측정 및 분석을 수행 할 수 있습니다. 결함 분류 (Defect Classification) 기능은 사용자정의 알고리즘을 사용하여 결함을 감지하고 분류합니다. 결함을 분류하고 분류하는 방법은 통과/실패 표시기 (pass/fail indicator) 와 함께 표시하거나 통계 평가를 위해 데이터 세트로 수집할 수 있습니다. OCR 기능은 오버레이 격자를 평가하면서 문자 모양과 크기를 비교하는 데 적합합니다. 또한 SP 1 에는 다양한 보기 옵션을 제공하는, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 제공됩니다. 이미지 데이터는 컨투어 플롯 (Contour Plot), 와이어 프레임 (Wire Frame) 또는 오버레이 격자 (Overlay Grid) 와 같은 다양한 방법으로 표시될 수 있으며 각도에서 분석할 수 있습니다. 전용 분석 제품군을 사용하면 정교한 데이터 쿼리를 생성하고, 정확한 결함 분석을 위한 상세한 이미지 비교 (영문) 를 수행할 수 있습니다. 무엇보다도, SP1 은 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 검사 작업을 위한 강력한 솔루션으로, 뛰어난 정확도와 정밀도로 광범위한 결함을 감지할 수 있습니다. 고급 분석 (Advanced Analytics) 및 사용자 정의 설정 (Custom User Settings) 을 통해 이 시스템은 빠르고 효과적인 프로세스 제어 및 항복 최적화에 적합합니다.