판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #9000064

KLA/TENCOR SP1은 오늘날 반도체 제조업체의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능, 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 광학 설계, 디지털 이미지 처리, 고급 신호 분석 (Advanced Signal Analysis) 을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 서피스의 결함을 모두 감지합니다. KLA SP1은 마스크를 검사하고 최대 25mm x 25mm 크기의 0.05äm 기능 크기를 기판합니다. 각 검사점에서 가변 비스듬한 각도로 다중 파장 LED 조명을 사용하여 시야에 걸쳐 균일 한 해상도를 제공합니다. 이 장치는 또한 고급 신호 컨디셔닝 (signal conditioning) 및 신호 분석 기능을 제공하여 심각한 결함을 감지 할 수 있습니다. TENCOR SP 1은 고급 이중 뷰 스캐닝 머신을 통합하여 두 웨이퍼 표면을 검사할 수 있습니다. 이것은 고급 필터링 기술 및 신호 분석 (signal analysis) 과 결합하여 가장 작은 결함과 마이크로 피트 (micro-pit) 를 효율적으로 감지 할 수 있습니다. 이 도구에는 직관적인 그래픽 메뉴와 사용하기 쉬운 컨트롤이 있는 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 가 있습니다. 이를 통해 운영자는 검사 설정을 신속하게 정의하고 검사 결과를 추적 할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP1은 향상된 상태 보고를 제공하여 운영자가 실시간 자산 상태를 모니터링할 수 있습니다. SP 1은 고대비 이미지 감지 및 분석을 수행하는 고급 나노 스케일 이미징 모델을 사용합니다. 이 통합 기술은 다른 검사 시스템에 의해 감지되지 않는 결함을 캡처 할 수 있습니다. 이 장비는 입자 오염, 입자 덤프, 선 결함, 스크래치 및 기타 고대비 기능을 감지 할 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 PLC (programmable logic controller) 로 구동되며, 이 시스템은 전체 장치에 대한 탁월한 제어 기능을 제공하는 반면, 기계는 기존 네트워크와 데이터베이스에 통합되어 자동 모니터링 (monitoring) 및 검사 데이터 수집을 제공합니다. KLA/TENCOR SP 1은 반도체 제조업체가 생산량 및 비용을 절감하고, 고객에게 높은 품질의 제품을 제공하고, 경쟁력을 유지하려는 필수 도구입니다.