판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #87226

KLA/TENCOR SP1은 고정밀 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA SP1 시스템은 마스크 및 웨이퍼 표면에 나타나는 결함을 감지, 분석, 보고하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 패턴 매칭 (pattern-matching) 및 이미징 기술과 함께 최첨단 비전 기술을 통합하여 높은 정확도, 반복 가능, 신뢰할 수 있는 검사 결과를 보장합니다. 주요 결함 감지, 공간 분석, 이미지 아카이빙, 고급 결함 분류 등 포괄적인 기능을 제공합니다. TENCOR SP 1 기계는 UV 조명 및 이중 파장 공백 현미경을 포함한 최첨단 광학 탐지 기술을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함을 정확하게 감지하고 분석합니다. 이 도구는 최대 8 개의 이미지 프레임을 최대 300nm 해상도로 캡처하도록 설계되었습니다. 이 자산에는 6 개의 다중 스펙트럼 시청 채널이있는 고화질 카메라도 있습니다. 이 모델은 "시각적" (범프, 스트라이크 스루 버, 물집 등과 같은 표면 수준 결함), "구조적" (공백, 딜라미네이션 등과 같은 하위 얼굴 결함), "재앙" (대규모 프로세스 이상 발생) 및 "예측" 을 포함하여 다양한 유형의 결함을 검사하기 위해 4 가지 고유 한 결함 모드를 제공합니다. 미래의 프로세스 예측). KLA SP 1에는 결함 크기, 모양 및 위치와 같은 다양한 지표가 포함되어 있습니다. 자동화된 결함 분류기 (automated defect classifier) 를 사용하면 장비가 다른 유형의 결함을 구별하여 유효한 (잘못된 양의) 결함만 보고할 수 있습니다. 이것은 정확도를 높이고 잘못된 경보를 줄이는 데 도움이됩니다. 마지막으로 KLA/TENCOR SP 1 시스템은 고급 보고 기능을 지원합니다. 이 장치는 강력한 분석을 사용하여 운영 프로세스를 개선하는 데 사용할 수 있는 그래프 (graphs) 및 기타 요약 통계 (summary statistics) 를 생성합니다. Report 는 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 조정될 수 있으며, 이를 통해 제조업체는 중요한 Process Performance Metrics 를 파악할 수 있습니다. 요약하면, SP1은 포괄적인 기능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 기계입니다. 최첨단 Optic 및 결함 분류 기술을 활용하여 높은 정확도, 반복 가능, 신뢰할 수 있는 결함 감지, 분석, 보고 기능을 제공합니다. 이 도구는 모든 생산 프로세스의 특정 요구를 충족시키기 위해 맞춤 (Tools) 될 수 있으며, 이는 제조업체가 자신의 운영에 대한 귀중한 통찰력을 얻을 수 있도록 도와줍니다.