판매용 중고 KLA / TENCOR SP1 #293628417

KLA/TENCOR SP1은 대용량 산업 환경에서 작동하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. KLA SP1은 처리량 및 수율을 최대화하기 위해 고속 이미징, 정밀 제어, 효율적인 작동을 제공합니다. TENCOR SP 1은 사용자 통합, 인체 공학 및 정렬 기능을 극대화하는 하드웨어 및 소프트웨어 시스템 인 KLA 특허 IR Ergonomics ™ 를 중심으로 설계되었습니다. 이 장치에는 검사 중인 마스크 또는 웨이퍼와 강력한 이미징 서브시스템을 정확하게 배치하는 자동 XY (Automated XY Stage) 가 포함되어 있습니다. 이미징 서브 시스템에는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크의 각 측면에 하나씩 2 줄의 카메라가 있습니다. 4 개의 카메라는 낮은 해상도에서 초고해상도에 이르는 다양한 확대율로 이미지를 캡처합니다. 4 대의 카메라 이미지는 모두 기계의 자동 패턴 인식 소프트웨어와 실시간으로 비교됩니다. TENCOR SP1은 고성능 및 반복 기능을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 서로 다른 배율 사이를 자동으로 전환하고 다양한 검사를 할 수있는 교환 가능한 전기 광학 렌즈 (electro-optical lens) 자산을 갖추고 있습니다. 또한 KLA/TENCOR SP 1은 고급 광학 매핑 기술을 사용하여 정확하게 정렬합니다. 이렇게 하면 축을 벗어난 왜곡이 방지되고 모델이 결함을 안정적으로 감지할 수 있습니다. 빠른 처리로 시간당 최대 100 개의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 또한 SP1 은 사용자 지정 기능이 뛰어나며, 기존 제조 공정에 쉽게 통합될 수 있습니다. 이 장비는 Semicircle, Ellipsoidal, Helical 및 Rectangular Pattern Recognition을 포함한 다양한 검사 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 통합 데이터 분석 툴 (Integrated Data Analysis Tools) 이 포함되어 있으므로 사용자는 생성된 이미지를 신속하게 해석하고 매개변수를 특정 프로세스에 맞게 빠르게 조정할 수 있습니다. KLA SP 1은 고급 실시간 이미징 및 정확한 패턴 인식 기능을 갖춘 마스크/웨이퍼 검사 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 견고한 디자인과 포괄적인 기능을 통해 대용량 (대용량) 생산에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.