판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI #9351867

KLA/TENCOR SP1-TBI는 프런트엔드 생산 라인을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 반도체 부품의 품질을 보장하기 위해 완전히 자동화된 비 접촉 2 차원 및 3 차원 검사 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 고급 이미지 처리, 로봇 공학, 재료 처리 기능을 단일 모듈식 패키지로 결합합니다. KLA SP1T-BI는 고급 라인 스캔 이미징 기술 및 데이터 수정 알고리즘을 사용하여 선명하고 해상도가 높은 이미지를 생성합니다. 이 고해상도 데이터는 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 표면 결함 및 지형 변형을 감지하는 자동화된 결함 감지 시스템 (automated defect-detection machine) 에 저장됩니다. 이 도구는 또한 다양한 샘플 유형과 샘플 (sample) 모양을 검사하는 유연성을 가지고 있습니다. TENCOR SP1 TBI는 2x4, 2x6, 3x3 및 4x4mm 구성 요소에 대한 빈 검사를 수행 할 수 있습니다. 에셋은 또한 photoresist residue, scratch, pits 및 voids와 같은 다양한 유형의 비 스케일 결함을 감지 할 수 있습니다. 모델은 결함 특성화를 위해 웨이퍼의 모서리 프로파일 (Edge Profile) 을 측정 할 수도 있습니다. TENCOR SP 1 TBI는 또한 마스크 및 가공소재의 자동 처리 및 포지셔닝에 로봇 공학을 사용합니다. 이렇게 하면 항상 장비 구성 요소를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 시스템은 다양한 샘플 크기와 모양을 수용하도록 구성 (configure) 할 수도 있습니다. KLA/TENCOR SP1 TBI는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스로 설계되었으며, 검사 대상 샘플의 품질을 모니터링하는 다양한 통계 제어 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 많은 양의 데이터를 저장할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 결함에 대한 자세한 통계적 분석 (statistical analysis) 과 프로세스 데이터 (process data) 를 실행할 수 있습니다. 또한 TENCOR SP 1-TBI 는 표준 이미지 형식, ASCII 데이터, netlist 출력, 데이터베이스 파일 등 다양한 데이터 출력 기능을 제공합니다. 따라서, 시스템을 다른 소프트웨어/하드웨어 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. TENCOR SP1T-BI는 강력하고 신뢰할 수 있는 마스크/웨이퍼 검사 툴로서, 고성능 및 정확성을 위해 설계되었습니다. 고급 이미지 처리 (Advanced Imaging) 및 자동화 (Automation) 기능을 통해 샘플을 정확하게 검사할 수 있으며, 유연한 구성을 통해 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스, 광범위한 분석 기능, 데이터 출력 기능을 갖춘 SP 1-TBI 는 반도체 구성요소 운영 라인에 이상적인 솔루션입니다.