판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI #9277484

KLA/TENCOR SP1-TBI는 가장 까다로운 마스크 및 웨이퍼 생산 환경을 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도, 12 메가 픽셀 CCD 카메라가 장착되어 있어 기존 시스템에 비해 뛰어난 이미지 명암과 선명도를 제공합니다. 이 장치는 DIC (차등 간섭 대비 현미경), BF (brightfield microscopy), DF (darkfield microscopy), 초점 이온 빔 (FIB) 및 주사 전자 현미경과 같은 다양한 비 접촉 자동 검사 기술을 허용합니다. (SEM). 또한, 사용자는 선 너비, 공간, 주파수, 완성 된 마스크, 웨이퍼 (wafer) 에 결함이 있는 등 다양한 유형의 패턴 피쳐를 검사할 수 있습니다. 이 툴은 자동 이미지 수집, 탐색, 검사 데이터 최적화 등을 통해 실시간, 높은 처리량 데이터 수집 기능을 제공합니다. 이를 통해 검사 중에 발견된 결함 또는 불일치를 빠르고 정확하게 분석, 검토할 수 있습니다. KLA SP1T-BI는 또한 초당 최대 720 프레임 (FPS) 의 높은 샘플링 속도를 자랑합니다. 따라서 고해상도 및 고주파 기능을 신속하게 검사할 수 있습니다. 자산은 또한 넓은 시야 (field of view) 를 가지고 있으며, 단기간에 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 형태 학적 알고리즘을 사용하여 결함을 자동으로 감지하고 분석하는 고급 비디오 처리 (advanced video processing) 기능이 있습니다. 이는 검사 데이터의 정량적 정확성을 극대화하는 데 도움이됩니다. 또한 TENCOR SP1 TBI 는 메모리 용량이 커서 장기간 아카이빙/검토를 위해 이미지와 처리된 데이터를 저장할 수 있습니다. 저장된 모든 이미지와 데이터는 모델의 디스플레이에서 직접 검사하거나 PC (PC) 로 전송하여 추가 분석을 할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR SP1 TBI는 최고 수준의 정확성과 속도를 제공하도록 설계된 강력하고 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 카메라, 광시야각, 고급 화상 처리 (video processing) 기능이 특징이며, 모두 빠르고 정확한 결함 탐지가 가능합니다. 이 시스템은 또한 대용량 메모리 (memory capacity) 와 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 신속한 탐색 및 검사 데이터를 검토할 수 있습니다.