판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI #9236208
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판매
ID: 9236208
웨이퍼 크기: 8"
Surface inspection system, 8"
Thickness: SEMI Standard wafer thickness
Defect sensitivity: ≤0.08 μm diameter PSL sphere equivalent ≥95% capture rate
Haze
Sensitivity: ≥0.005 ppm
Resolution: 0.0002 ppm
Repeatability:
Haze: CV ≤3.0% @ Avg. Haze 0.1 ppm
Count: CV ≤1.0% (Mean count 2000, 0.136 μm diameter latex spheres)
Sizing: CV ≤0.5% @ 0.136 μm histogram peak value
Edge exclusion: ≤ 1.0 mm for all wafer size
Spatial resolution: 20 μm spacing, minimum
Throughput
Standard: 80 wph for 300 mm @ 0.1 μm
120 wph for 200 mm @ 0.1 μm
150 wph for 150 mm @ 0.1 μm
Contamination: ≤0.001 particles/cm2/pass ≤ 0.12 pm
Cassette handling
Standard: Single puck w 1x300 / 2x200 mm cassette
Illumination source: 30 mW Argon-Ion laser, 488 nm wavelength
Operator interface: Keypad, trackball and keyboard standard
Operating system: Windows NT
Vacuum: < 20 KPa (≥ 24" Hg)
Electrical: 200-240V 50/60 Hz
Power Requirement: 5.4 kVA
Ducted venting: (2) 102 mm (4") exhaust hoses
Environment: Class 10 / Better.
KLA/TENCOR SP1-TBI는 광 이미징, 고해상도 이미징 시스템 및 고급 결함 감지 알고리즘을 사용하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 대규모의 반도체 장치에서 가장 미묘한 결함까지도 감지할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 기존 검사 시스템의 4 배 해상도의 LED 기반 4 중 빔 이미징 장치를 사용합니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 (기판) 표면에서 가장 미세한 결함조차도 감지 할 수 있습니다. 이 기계에는 자동 결함 감지 알고리즘 (automatic defect detection algorithms) 과 이미지 분석 소프트웨어 (image analysis software) 가 있어 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 샘플을 빠르고 효율적으로 스캔하도록 설계되었습니다. 기판의 여러 층을 동시에 스캔할 수있는 고속 비전 (High-Speed Vision) 에셋이 장착되어 있습니다. 모델에는 자동 트랙 최적화 (Automatic Track Optimization) 장비가 있어 현재 위치에 따라 샘플의 조명을 자동으로 재조정합니다. 사용자 정의 가능한 GUI 와 다양한 소프트웨어 패키지와 호환되므로, 이 시스템은 사용자에게 매우 편리합니다. 또한 확장 가능합니다. 즉, 소규모 및 대규모 반도체 제조 작업을 모두 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 Contour Profiler, MultiDieEdge 및 WaferTracker와 같은 다른 KLA 제품과 통합됩니다. 이러한 구성 요소는 사용자에게 완벽한 검사 솔루션을 제공합니다. 또한 IC Layout 및 Optimal Probe와 같은 타사 소프트웨어 패키지를 사용하여 철저하고 정확하게 검사합니다. KLA SP1T-BI에는 다양한 샘플 유형에 대한 결함 검사 패턴을 사용자정의하기위한 프로그래밍 가능한 알고리즘을 포함하여 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 또한 나중에 참조할 수 있도록 감지된 결함을 저장, 검토, 특성화하는 결함 라이브러리가 포함되어 있습니다. 전반적으로, TENCOR SP1 TBI는 고급 이미징 및 결함 감지 기술을 사용하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 도구입니다. 고해상도 이미징, 맞춤형 GUI, 타사 제품과의 통합, 고급 (Advanced) 기능을 통해 고급 결함을 감지할 수 있는 강력하고 안정적인 툴입니다.
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