판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI #9163053

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ID: 9163053
웨이퍼 크기: 8"-12"
빈티지: 2000
Unpatterned surface inspection system, 8"-12" Handler type: Automation-open cassette Notch alignment (1) Port, 8"-12" Currently installed and stored in cleanroom 2000 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI는 고성능 어플리케이션을 위해 설계된 유연하게 구성된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 패턴 일치 알고리즘, 프로그래밍 가능한 초점 광학 및 1600 x 4096 해상도 CCD 카메라와 같은 새로운 기술을 사용하여 입증 된 SP1 플랫폼을 기반으로합니다. 이 시스템은 비용 효율적이고 확장성이 뛰어나며, 다양한 가격 대비 성능 (price-to-performance) 요구 사항을 충족하는 사용자에게 뛰어난 유연성을 제공합니다. KLA SP1T-BI에는 최신 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션 (예: 3D 및 라인/스페이스) 의 요구를 충족하는 최신 고속 옵틱 및 고급 조명이 장착되어 있습니다. 강력한 패턴 매칭, 이미지 처리, 결함 분석 알고리즘은 정확하고 안정적인 결과를 낳습니다. 이 장치에는 고급 자동 초점 (Automatic Focus) 및 노출 제어 (Exposure Control) 기능이 있어 초점과 조명 설정을 자동으로 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. TENCOR SP1 TBI는 고속 인덱싱, 고속 이미징, 다중 작업 기능을 갖춘 초고속 검사 처리량을 위해 설계되었습니다. 이 기계에는 복잡한 기하학적 특징뿐만 아니라 여러 영역을 검사하기 위해 4 축, 3 축 스테이지가 장착되어 있습니다. 다중 작업 (Multi-Task) 기능을 통해 사용자는 다른 작업과 함께 사용 중일 때 자동 (Unattended) 작업을 실행할 수 있습니다. 강력한 기능 외에도 KLA SP1 TBI에는 운영자에게 지침을 제공하는 사용자 친화적 인 인터페이스가 제공됩니다. 또한, 검사 매개변수 및 데이터 로깅을 위한 그래픽 프롬프트가 포함된 직관적인 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 결함 크기 측정, 구리-유리 검사 등 다양한 분석 도구가 있습니다. 전반적으로 SP 1-TBI 는 고정밀 마스크 및 웨이퍼 검사 어플리케이션을 위한 안정적이고 경제적인 선택입니다. 고속 옵틱 (Optics), 고급 알고리즘, 직관적인 사용자 인터페이스, 유연성 등을 통해 경제적이고 확장성이 뛰어난 솔루션을 원하는 고객에게 이상적인 솔루션이 됩니다.
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