판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9227710

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 집적 회로의 결함을 식별하고 감지하는 데 사용되는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 여러 프런트엔드 (Front-End) 처리 단계를 자동으로 검사할 수 있도록 설계되었으며, 마스크 및 웨이퍼 (Wafer) 기능을 상세하게 측정하여 지속적인 수익률 향상을 보장합니다. 이 시스템에는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 서브미크론 (sub-micron) 기능과 결함을 감지하고 측정할 수 있는 민감한 광학 서브시스템이 장착되어 있습니다. 4 픽셀 또는 16 픽셀 구성으로 제공되며, 둘 다 최고 90nm 해상도로 이중 반사 및 전송 모드 이미지를 분석 할 수있는 최상위 이중 에너지 화이트 라이트 필드 (Dual-Energy White-Light-Field) 기술을 갖추고 있습니다. 또한, 모든 기판에서 표면 특징을 빠르고 정확하게 측정하는 특허를받은 Z-Stage Vacuum-Gap 획득 단계를 갖추고 있습니다. KLA는 또한 TrueBright (tm) Image Enhancement 기술을 도입하여 감도 임계값을 더욱 줄이고 감지된 결함의 신호 대 잡음 비율을 높였습니다. KLA SP1-TBI SURFSCAN을 사용하면 다양한 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 및 마스크 정보를 신속하게 분석 할 수 있습니다. 긁힘, 모공, 공백, 입자, 입자 벽, 선상 거칠기, 표면 얼룩, 참호 등 다양한 결함을 식별 할 수 있습니다. 고급 결함 감지 알고리즘은 프로세서 또는 형상 관련 결함을 0.14um까지 감지 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 중요한 치수 분석, 맵 추적 가능성, 로트 분석 등 여러 가지 자동화 및 사용자 정의 가능한 측정 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 사용자가 기존 웨이퍼 추적 소프트웨어를 완벽하게 통합 할 수 있도록 프로그래밍됩니다. 이 도구에는 결과를 수집, 시각화, 분석하는 다양한 내장 도구가 포함되어 있습니다. 자동화된 운영 환경에서도 작동이 가능하므로 빠르고 유연한 성능 평가 (Performance Evaluation) 와 결함/매개변수 분석 (Defect/Parameter Analysis) 이 가능합니다. 간단히 말해, SP1-TBI SURFSCAN은 정확하고 안정적인 결함 감지 및 측정 기능을 제공하는 포괄적 인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 다양한 고급 광학/분석 (Optical and Analysis) 기능을 제공하며, 지속적인 결함 및 생산성 향상을 위해 빠르고, 고출력, 정확한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다.