판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9171668

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로 결함 감지 및 특성화에 뛰어난 기능을 제공합니다. 이 시스템은 고급 다중 축 스캐닝 (multi-axis scanning) 단계를 활용하여 결함 위치와 구조의 매우 정밀하고 3 차원 이미징을 제공합니다. 정교한 이중 검출기 (dual detector) 어레이는 모든 결함 신호를 정확하게 캡처하는 반면, 다중 계층 3D 재구성 알고리즘은 연산자가 결함을 보다 빠르게 식별하고 분류하는 데 도움이됩니다. KLA SP1-TBI SURFSCAN에는 고급 결함 분류 도구도 포함되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 특정 유형의 결함을 검색할 수 있으며, 제품 특성에 맞춘 개별 "서명 (signature)" 선택을 설정할 수 있습니다. 검사 머신 (Inspection Machine) 은 장비 설정과 각 제품 유형에 맞춘 이미지 분석 매개변수 (image analysis parameters) 를 사용하여 광범위한 웨이퍼 레벨 스캔을 수행할 수도 있습니다. 검사 도구 (Inspection Tool) 는 매우 자동화되어 있으며 10% 의 낮은 수동 개입률로 작동하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 이것은 매우 높은 수준의 출력 및 처리량을 제공합니다. 자산의 고도로 민감하고 고급 결함 검토 (Advanced Defect Review) 기능은 정렬의 필요성을 줄이고, 전체 반도체 장치 제조 비용을 절감합니다. TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 정확성, 신뢰성 및 반복성에 대한 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 대용량 제조의 극단적 인 요구를 충족시킬 수 있을 정도로 강력합니다. 모델의 고급 감지 (Advanced Detection) 및 분류 (Classification) 기능은 처리 속도를 높이면서 프로세스 정렬에 소요되는 시간을 최소화합니다. 마스크 및 웨이퍼 검사 장비에는 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 및 보고 (Reporting) 기능을 지원하는 고품질 분석 도구 모음이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 결함 데이터에 대한 직접 액세스 (direct access to the defect data) 기능을 제공하며 운영자가 결함의 유형과 심각도를 신속하게 파악하고 이해할 수 있습니다. 이 분석은 특정 유형의 결함 및 근본 원인을 추가로 분석 할 수있는 타임 스탬핑 (time-stamping) 기능을 추가하여 더욱 향상되었습니다. SP1-TBI SURFSCAN은 마스크 및 웨이퍼 검사에서 진정한 혁명적입니다. 소형 장치 (compact unit) 내에 강력하고 신뢰할 수 있는 결함 검사를 실시함으로써, 기계의 성능 수준은 가장 진보된 통합 결함 분석 시스템 (integrated defect analysis system) 의 성능을 초과합니다. KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 마스크 및 웨이퍼 제조 결함과 관련된 비용을 줄여 반도체 제조업체에 경쟁 우위를 제공합니다.