판매용 중고 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9097041

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 마이크로 전자 생산에 사용하도록 설계된 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 반도체 생산 시스템은 종합적인 표면 결함 탐지 (surface defect detection) 기능을 제공하여 마스크와 웨이퍼 (wafer) 에서 가장 작은 결함을 식별할 수 있으며, 크기는 0.02 미크론입니다. KLA SP1-TBI SURFSCAN은 MIU (Mask Inspection Unit) 및 WIU (Wafer Inspection Unit) 를 포함한 여러 장치 시스템으로 구성됩니다. MIU (Advanced Defect Detection) 기능을 제공하며 대용량 생산에 적합한 제품입니다. 이 장치는 최대 0.3 미크론의 정확도로 Mask 패턴에서 매우 정확한 sub-micron 결함 감지를 허용합니다. WIU는 와이어 본드 (Wire Bond) 및 기타 외부 결함에 대한 결함 검사를 허용하는 추가 기능을 제공합니다. 고급 결함 감지 기능 외에도, TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 다양한 기능을 검사할 수있는 다양한 이미징 옵션을 제공합니다. 여기에는 피쳐 크기, 종횡비 및 선 너비/간격이 포함됩니다. 또한 고유한 각도 보상 (Angle Compensation) 및 위치 추적 (Location Tracking) 기능을 통해 기존 광학 시스템에서 감지하기 어려운 결함을 정확하고 신속하게 감지할 수 있습니다. SP1-TBI SURFSCAN은 또한 고화질 이미징 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 이렇게 하면 마스크 상의 텍스트, 이미지, 패턴을 매우 자세하게 렌더링할 수 있는 고급 (advanced) 알고리즘을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 3D 웨이퍼에 대해 빠르고 정확한 측정이 가능하며, 고해상도 인다이 (in-die) 기능을 제공하여 생산 라인 자동화를 위한 안정적인 결과를 제공합니다. 한편, 이 시스템은 강력한 실시간 결함 분석 (Real-Time Defect Analysis) 기능을 제공하며, 사용자가 직접 결과를 저장하고 분석할 수 있는 옵션을 제공합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN은 마스크와 웨이퍼의 결함을 정확하게 식별 할 수있는 고급 생산 도구입니다. 정밀도 및 품질이 뛰어난 정확한 측정과 고화질 이미징 (고화질) 을 제공합니다. 또한, 강력한 결함 감지 기능이 제공되며, 사용자가 0.02 미크론까지 가장 작은 결함을 감지하는 데 도움을줍니다. 유연한 이미징 옵션과 강력한 결함 분석 기능을 갖춘 KLA SP1-TBI SURFSCAN은 반도체 생산 라인에 이상적인 선택입니다.